[实用新型]一种蚀刻设备药液供给机构

权利要求书

1.一种蚀刻设备药液供给机构，其特征在于，包括：

第一供酸柜，所述第一供酸柜通过第一供液管连接有第二蚀刻槽；

第二供酸柜，所述第二供酸柜的输出端连通有排液管，所述排液管的一端连通有三通管，所述三通管的一端连通有第二供液管，所述第二供液管的一端连通有第二蚀刻槽；

支管，所述支管的一端与所述三通管连通，所述支管的另一端与所述第一供液管连通。

2.根据权利要求1所述的蚀刻设备药液供给机构，其特征在于，所述第一供液管和排液管上均设置有手动阀，所述第一供液管和第二供液管上均设置有气动阀。

3.根据权利要求1所述的蚀刻设备药液供给机构，其特征在于，所述支管的两端均设置有截止阀。

4.根据权利要求1所述的蚀刻设备药液供给机构，其特征在于，所述第一供液管的一侧设置有连接头，所述连接头包括连接管，所述连接管的一端设置有固定部，所述固定部的内侧设置有内螺纹槽。

5.根据权利要求4所述的蚀刻设备药液供给机构，其特征在于，所述连接管的内部设置有密封塞，所述密封塞的表面设置有密封套，所述密封塞的一端开设有矩形槽。

6.根据权利要求5所述的蚀刻设备药液供给机构，其特征在于，所述连接管的内部通过连接杆固定连接有内螺纹管，密封塞的一端固定连接有螺纹轴，所述螺纹轴的一端与所述内螺纹管的内部螺纹连接。

7.根据权利要求6所述的蚀刻设备药液供给机构，其特征在于，还包括与连接头适配设置的固定头，所述固定头包括连接部，所述连接部的一端设置有外螺纹管，所述外螺纹管的内部通过连接杆固定连接有连接轴。

8.根据权利要求7所述的蚀刻设备药液供给机构，其特征在于，所述连接轴的一端延伸至外螺纹管的外部，所述连接轴的一端固定连接有矩形块。