[实用新型]一种半导体生产用的便携式气体分析仪

权利要求书

1.一种半导体生产用的便携式气体分析仪，包括工作台（1）和仪器板（6），其特征在于：所述工作台（1）上端面开设有滑槽（3），所述滑槽（3）内滑动连接有移动块（4），所述移动块（4）上端面固定连接有连接板（5），所述连接板（5）上端面开设有插槽（15），所述插槽（15）外侧开设有第一开口槽（16），所述第一开口槽（16）外侧开设有第二开口槽（17），所述第二开口槽（17）内端面固定连接有第二连接弹簧（18），所述第二连接弹簧（18）内端固定连接有连接柱（19），所述连接柱（19）内端面固定连接有抽拉杆（20），所述连接板（5）上方设置有仪器板（6），所述仪器板（6）下端面固定连接有下连接块（10），所述下连接块（10）外侧贯穿开设有连接孔（11）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产用的便携式气体分析仪，其特征在于：所述仪器板（6）上端面两侧均固定连接有侧板（7），所述侧板（7）内端面固定连接有第一连接弹簧（8），所述第一连接弹簧（8）外端固定连接有夹板（9）。

3.根据权利要求1所述的一种半导体生产用的便携式气体分析仪，其特征在于：所述移动块（4）两侧贯穿开设有螺孔（14），所述工作台（1）左端面固定连接有电机（12），所述电机（12）输出端固定连接有螺杆（13），所述螺杆（13）与所述螺孔（14）匹配连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体生产用的便携式气体分析仪，其特征在于：所述移动块（4）的尺寸与所述滑槽（3）的尺寸匹配设置。

5.根据权利要求1所述的一种半导体生产用的便携式气体分析仪，其特征在于：所述下连接块（10）的尺寸与所述插槽（15）的尺寸匹配设置，所述连接柱（19）的尺寸与所述连接孔（11）的尺寸匹配设置。

6.根据权利要求1所述的一种半导体生产用的便携式气体分析仪，其特征在于：所述工作台（1）下端面固定连接有支架（2），每个所述支架（2）均设置在所述工作台（1）下端面各个拐角处。