[实用新型]一种半导体生产用的便携式气体分析仪

说明书

本实用新型公开了半导体技术领域的一种半导体生产用的便携式气体分析仪，包括工作台和仪器板，工作台上端面开设有滑槽，滑槽内滑动连接有移动块，移动块上端面固定连接有连接板，连接板上端面开设有插槽，插槽外侧开设有第一开口槽，第一开口槽外侧开设有第二开口槽，第二开口槽内端面固定连接有第二连接弹簧，第二连接弹簧内端固定连接有连接柱，连接柱内端面固定连接有抽拉杆，连接板上方设置有仪器板，本实用新型通过设置了连接板、插槽、第一开口槽、第二开口槽、第二连接弹簧、连接柱、抽拉杆、仪器板、下连接块和连接孔可完成对放置气体分析仪的仪器板进行快速拆卸与安装的动作，达到了提高了便捷性的效果。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体是一种半导体生产用的便携式气体分析仪。

背景技术

气体分析仪是测量气体成分的流程分析仪表，在很多生产过程中，特别是在存在化学反应的生产过程中，仅仅根据温度、压力、流量等物理参数进行自动控制常常是不够的，由于被分析气体的千差万别和分析原理的多种多样，气体分析仪的种类繁多，常用的有热导式气体分析仪、电化学式气体分析仪和红外线吸收式分析仪等，主要利用气体传感器来检测环境中存在的气体种类，气体传感器是用来检测气体的成分和含量的传感器，一般认为，气体传感器的定义是以检测目标为分类基础的，也就是说，凡是用于检测气体成分和浓度的传感器都称作气体传感器，不管它是用物理方法，还是用化学方法，比如，检测气体流量的传感器不被看作气体传感器，但是热导式气体分析仪却属于重要的气体传感器，尽管它们有时使用大体一致的检测原理。

现有的技术中存在气体分析仪以及仪器板为固定安装，不能被拆卸的问题，会造成当需要气体分析仪进行移动时不方便的现象，最后导致使用气体分析仪时不方便的结果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体生产用的便携式气体分析仪，以解决上述背景技术中提出的体气体分析仪以及仪器板为固定安装，不能被拆卸的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种半导体生产用的便携式气体分析仪，包括工作台和仪器板，所述工作台上端面开设有滑槽，所述滑槽内滑动连接有移动块，所述移动块上端面固定连接有连接板，所述连接板上端面开设有插槽，所述插槽外侧开设有第一开口槽，所述第一开口槽外侧开设有第二开口槽，所述第二开口槽内端面固定连接有第二连接弹簧，所述第二连接弹簧内端固定连接有连接柱，所述连接柱内端面固定连接有抽拉杆，所述连接板上方设置有仪器板，所述仪器板下端面固定连接有下连接块，所述下连接块外侧贯穿开设有连接孔，本实用新型通过设置了连接板、插槽、第一开口槽、第二开口槽、第二连接弹簧、连接柱、抽拉杆、仪器板、下连接块和连接孔可完成对放置气体分析仪的仪器板进行快速拆卸与安装的动作，达到了提高了便捷性的效果。

作为本实用新型进一步的方案：所述仪器板上端面两侧均固定连接有侧板，所述侧板内端面固定连接有第一连接弹簧，所述第一连接弹簧外端固定连接有夹板，设置有侧板、第一连接弹簧和夹板可达到对不同尺寸的气体分析仪进行夹紧的效果。

作为本实用新型再进一步的方案：所述移动块两侧贯穿开设有螺孔，所述工作台左端面固定连接有电机，所述电机输出端固定连接有螺杆，所述螺杆与所述螺孔匹配连接，设置有电机、螺孔和螺杆可达到对放置在仪器板上的气体分析仪进行左右移动的效果。

作为本实用新型再进一步的方案：所述移动块的尺寸与所述滑槽的尺寸匹配设置，确保移动块在滑槽内不会发生干涉现象。

作为本实用新型再进一步的方案：所述下连接块的尺寸与所述插槽的尺寸匹配设置，所述连接柱的尺寸与所述连接孔的尺寸匹配设置，确保下连接块不会与插槽发生干涉现象，确保连接柱与连接孔能够连接紧密的效果。

作为本实用新型再进一步的方案：所述工作台下端面固定连接有支架，每个所述支架均设置在所述工作台下端面各个拐角处，设置有支架可达到对工作台进行稳定支撑的效果。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：