[实用新型]一种KDP表面微缺陷仿形潮解修复装置有效

专利信息
申请号: 202122711411.X 申请日: 2021-11-08
公开(公告)号: CN216463860U 公开(公告)日: 2022-05-10
发明(设计)人: 黄帅;李明浩 申请(专利权)人: 湖南大学
主分类号: B24B29/02 分类号: B24B29/02;B24B17/04;B24B55/00
代理公司: 湖南岑信知识产权代理事务所(普通合伙) 43275 代理人: 刘洋
地址: 410000 湖*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 一种 kdp 表面 缺陷 潮解 修复 装置
【权利要求书】:

1.一种KDP表面微缺陷仿形潮解修复装置,其特征在于,包括仿形抛光头(8);所述仿形抛光头(8)中部成形有微水雾通道(5)和微细冷等离子体通道(6),仿形抛光头(8)外周的形成有若干负压孔(4);负压孔(4)连通有负压装置(3);仿形抛光头(8)安装在机床上。

2.如权利要求1所述的种KDP表面微缺陷仿形潮解修复装置,其特征在于,还包括机器视觉系统(7)。

3.如权利要求1所述的种KDP表面微缺陷仿形潮解修复装置,其特征在于,所述仿形抛光头(8)通过连接结构(2)安装在机床上,连接结构(2)为外螺纹结构。

4.如权利要求1所述的种KDP表面微缺陷仿形潮解修复装置,其特征在于,所述微细冷等离子体通道(6)连通有微细冷等离子体供给装置;微水雾通道(5)连通有微水雾供给装置,负压孔(4)连通有负压装置。

5.如权利要求4所述的种KDP表面微缺陷仿形潮解修复装置,其特征在于,所述负压装置(3)为负压泵。

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