[实用新型]一种KDP表面微缺陷仿形潮解修复装置

说明书

本实用新型提供了一种KDP表面微缺陷仿形潮解修复装置，包括仿形抛光头；所述仿形抛光头中部成形有微水雾通道和微细冷等离子体通道，仿形抛光头外周的形成有若干负压孔；负压孔连通有负压装置；仿形抛光头安装在机床上。本实用新型的有益效果如下：可使水介质在仿形抛光头和待修复区域之间均匀铺陈，潮解速率和区域可控，避免修复过程中新的缺陷引入，在微缺陷修复之后可获得理想的球形或高斯型曲面。

【技术领域】

本实用新型涉及易潮解KDP表面的超精密加工技术领域，尤其涉及一种 KDP表面微缺陷仿形潮解修复装置。

【背景技术】

KDP是目前唯一可用于高能激光电路系统中的激光倍频、电光调制和光电开关器件的非线性光学材料。由于KDP具有软脆、易潮解、对加工温度极为敏感等特点，在加工和服役过程中，极易产生表面微缺陷，并显著降低其光学性能和使用寿命，最终导致KDP报废。目前KDP微缺陷去除的方法和存在的问题： 1)利用CO₂激光熔融、飞秒脉冲激光烧灼以及微机械加工等方法对KDP表面缺陷进行修复，结果表明了微机械加工具有可控性好、性能稳定性较好的优势，但是导致KDP存在规律刀痕、且粗糙度较大；2)基于AFM探针的溶剂介导方法对KDP表面损伤点进行修复，其修复后的晶体内部光强接近理想表面，但是仅能修复微米级以下的微缺陷，效率低，不能工程应用；3)蘸水笔蚀刻KDP表面微缺陷，此方法可以避免引入刀痕和亚表面损伤等缺陷，但是潮解后的表面存在小尺度波纹，会降低激光损伤阈值，而且潮解区域不可控，无法获得理想的球形或高斯型曲面。

目前，微机械修复虽已基本满足实际需求，但修复中仍会产生刀痕、热应力、亚表面损伤等缺陷，且修复区表面质量与损伤前差距较大。由于机械加工的本质特性，即使进行工艺优化和提高装备精度上述问题也难以彻底解决，因此必须探索新的高质高效低损伤修复工艺。KDP晶体易潮解为微缺陷实现高质量修复提供了新思路，但是潮解表面的小尺度波纹、效率低、潮解区域不可控等问题，导致该工艺无法获得理想的修复曲面。

【实用新型内容】

本实用新型的目的是为了公开一种KDP表面微缺陷仿形潮解修复装置，其可以解决潮解表面小尺度波纹、效率低、潮解区域不可控等技术问题。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案为：

一种KDP表面微缺陷仿形潮解修复装置，包括仿形抛光头8；所述仿形抛光头8中部成形有微水雾通道5和微细冷等离子体通道6，仿形抛光头8外周的形成有若干负压孔4；负压孔4连通有负压装置3；仿形抛光头8安装在机床上。

进一步的改进，还包括机器视觉系统7。

进一步的改进，所述仿形抛光头8通过连接结构2安装在机床上，连接结构2 为外螺纹结构。

进一步的改进，所述微细冷等离子体通道6连通有微细冷等离子体供给装置；微水雾通道5连通有微水雾供给装置，负压孔4连通有负压装置。

进一步的改进，所述负压装置为负压泵。

本实用新型的有益效果如下：本实用新型由微细冷等离子体对微缺陷区域进行仿形超亲水改性，注入的微水雾在仿形抛光头和待修复区域之间均匀铺陈，潮解速率和区域可控，为限制超亲水改性区域和微水雾铺陈区域，通过连接结构上的负压孔将扩散的微细冷等离子体和微水雾进行负压吸除，在微缺陷修复之后可获得理想的球形或高斯型曲面。

【附图说明】

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：

图1为本实用新型一种KDP表面微缺陷仿形潮解修复装置的结构示意图；

图2为本实用新型连接结构的结构示意图；