[实用新型]一种用于承载硅片的可伸缩变节距机构

权利要求书

1.一种用于承载硅片的可伸缩变节距机构，包括升降单元和承载单元，所述升降单元包括机架和安装于所述机架上的升降动力设备，所述承载单元包括一水平安装板和两竖立侧板，所述两竖立侧板相对且平行布置并且连接于所述水平安装板上，所述竖立侧板的内侧面凸出设置有沿竖直方向依次间隔距离布置的多层硅片支撑结构，

其特征在于，还包括伸缩单元，所述伸缩单元包括水平连接板和安装于所述水平连接板上的伸缩动力设备，所述升降动力设备连接所述伸缩单元并带动所述伸缩单元沿竖直方向往复运动，所述伸缩动力设备连接所述承载单元并带动所述承载单元沿平行于所述竖立侧板的水平方向往复运动，第一工作状态下，所述水平安装板位于所述水平连接板的正下方，第二工作状态下，所述水平安装板的部分移出所述水平连接板的下方。

2.根据权利要求1所述的用于承载硅片的可伸缩变节距机构，其特征在于，所述伸缩动力设备为笔形气缸，所述水平安装板上设有滑轨，所述水平连接板上设有滑块，所述滑轨与滑块相互配合。

3.根据权利要求1所述的用于承载硅片的可伸缩变节距机构，其特征在于，每层所述硅片支撑结构包括沿平行于所述竖立侧板的水平方向间隔距离布置的两根支撑柱，所述支撑柱垂直连接于所述竖立侧板上。

4.根据权利要求3所述的用于承载硅片的可伸缩变节距机构，其特征在于，所述支撑柱为陶瓷柱。

5.根据权利要求3所述的用于承载硅片的可伸缩变节距机构，其特征在于，所述支撑柱具有圆柱表面。

6.根据权利要求1所述的用于承载硅片的可伸缩变节距机构，其特征在于，所述水平安装板上设有用于限制所述水平安装板从第一状态到达第二状态后继续移动的第一限位板和限制所述水平安装板从第二状态到达第一状态时继续移动的第二限位板。

7.根据权利要求1所述的用于承载硅片的可伸缩变节距机构，其特征在于，所述水平安装板上设有用于缓冲所述水平安装板从第一状态到达第二状态时撞击的第一液压缓冲器和用于缓冲所述水平安装板从第二状态到达第一状态时撞击的第二液压缓冲器。

8.根据权利要求1所述的用于承载硅片的可伸缩变节距机构，其特征在于，所述升降动力设备为直线模组。

9.根据权利要求1所述的用于承载硅片的可伸缩变节距机构，其特征在于，还包括安装于所述水平安装板上并带动所述竖立侧板沿垂直于所述竖立侧板的水平方向移动的平移动力设备。

10.根据权利要求1所述的用于承载硅片的可伸缩变节距机构，其特征在于，还包括竖立连接板，所述竖立连接板与所述水平连接板呈L形相互连接并且二者通过三角框形加强筋加固连接。