[实用新型]一种用于承载硅片的可伸缩变节距机构

说明书

本实用新型公开一种用于承载硅片的可伸缩变节距机构，包括升降单元和承载单元，升降单元包括机架和升降动力设备，还包括伸缩单元，伸缩单元包括水平连接板和安装于水平连接板上的伸缩动力设备，升降动力设备连接伸缩单元并带动伸缩单元沿竖直方向往复运动，伸缩动力设备连接承载单元并带动承载单元沿平行于竖立侧板的水平方向往复运动，第一工作状态下，水平安装板位于水平连接板的正下方，第二工作状态下，水平安装板的部分移出水平连接板的下方。本实用新型通过设置伸缩单元，承载单元沿着插片方向可伸缩，从而缩短了石墨舟与承载单元的插片位置之间的距离，从而解决了机械手行程不够的问题。

技术领域

本实用新型属于硅晶片运输领域，具体涉及一种用于承载硅片的可伸缩变节距机构。

背景技术

光伏行业中，在硅片进行自动化镀膜、制绒以及刻蚀时，不同的工序对硅片之间的距离要求不同，现有技术中通过机械手一次抓取石墨舟中的多片硅片，然后插到第一个变节距机构，第一个变节距机构下降的过程中将硅片一片片的依次转移到其下方的皮带输送装置上，第二个变节距机构上升的过程中一片片的依次接收皮带输送装置上硅片，第一个变节距机构和第二个变节距机构中上下两层硅片之间的距离不同。从而实现了不同硅片的变节距。一些情况下，石墨舟与第一个变节距机构之间的距离较大，他们之间的机械手行程不够，由于第一个变节距机构不能移动，现有技术中通常是移动石墨舟来解决机械手行程不够的问题，成本较高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于承载硅片的可伸缩变节距机构，通过设置伸缩单元可以解决机械手行程不够的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供以下的技术方案：一种用于承载硅片的可伸缩变节距机构，包括升降单元和承载单元，所述升降单元包括机架和安装于所述机架上的升降动力设备，所述承载单元包括一水平安装板和两竖立侧板，所述两竖立侧板相对且平行布置并且连接于所述水平安装板上，所述竖立侧板的内侧面凸出设置有沿竖直方向依次间隔距离布置的多层硅片支撑结构，

还包括伸缩单元，所述伸缩单元包括水平连接板和安装于所述水平连接板上的伸缩动力设备，所述升降动力设备连接所述伸缩单元并带动所述伸缩单元沿竖直方向往复运动，所述伸缩动力设备连接所述承载单元并带动所述承载单元沿平行于所述竖立侧板的水平方向往复运动，第一工作状态下，所述水平安装板位于所述水平连接板的正下方，第二工作状态下，所述水平安装板的部分移出所述水平连接板的下方。

作为进一步改进，所述伸缩动力设备为笔形气缸，所述水平安装板上设有滑轨，所述水平连接板上设有滑块，所述滑轨与滑块相互配合。

作为进一步改进，每层所述硅片支撑结构包括沿平行于所述竖立侧板的水平方向间隔距离布置的两根支撑柱，所述支撑柱垂直连接于所述竖立侧板上。

作为进一步改进，所述支撑柱为陶瓷柱。

作为进一步改进，所述支撑柱具有圆柱表面。

作为进一步改进，所述水平安装板上设有用于限制所述水平安装板从第一状态到达第二状态后继续移动的第一限位板和限制所述水平安装板从第二状态到达第一状态时继续移动的第二限位板。

作为进一步改进，所述水平安装板上设有用于缓冲所述水平安装板从第一状态到达第二状态时撞击的第一液压缓冲器和用于缓冲所述水平安装板从第二状态到达第一状态时撞击的第二液压缓冲器。

作为进一步改进，所述升降动力设备为直线模组。

作为进一步改进，还包括安装于所述水平安装板上并带动所述竖立侧板沿垂直于所述竖立侧板的水平方向移动的平移动力设备。

作为进一步改进，还包括竖立连接板，所述竖立连接板与所述水平连接板呈L形相互连接并且二者通过三角框形加强筋加固连接。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：