[实用新型]多回转中心自转镀膜转架

权利要求书

1.多回转中心自转镀膜转架，包括用于设置在镀膜室(1)上的回转机构(2)和设置在所述回转机构(2)上的自主轴(3)，所述回转机构(2)包括驱动件(4)和公转盘(5)，所述自主轴(3)设置在所述公转盘(5)上，跟随所述公转盘(5)转动，其特征在于，所述回转机构(2)还包括

自转动轮(6)，设置在所述自主轴(3)上，

固定轮(7)，设置在所述镀膜室(1)内，通过所述固定轮(7)和所述自转动轮(6)配合，所述自转动轮(6)带动所述自主轴(3)自转。

2.根据权利要求1所述的多回转中心自转镀膜转架，其特征在于，所述自转动轮(6)和所述固定轮(7)位于所述公转盘(5)上方，所述公转盘(5)的主轴(8)穿过所述固定轮(7)，所述自转动轮(6)和所述固定轮(7)相互啮合。

3.根据权利要求2所述的多回转中心自转镀膜转架，其特征在于，还包括

固定件(12)，设置在所述镀膜室(1)上，所述固定轮(7)通过所述固定件(12)设置在所述镀膜室(1)内，所述主轴(8)穿过所述固定件(12)。

4.根据权利要求1所述的多回转中心自转镀膜转架，其特征在于，所述固定轮(7)具有两层，上层为大轮，下层为小轮，所述自转动轮(6)分层布置，与所述大轮和所述小轮分别对应布置。

5.根据权利要求2所述的多回转中心自转镀膜转架，其特征在于，还包括

从动轮(13)，设置在所述主轴(8)上，

主动轮(14)，设置在所述驱动件(4)驱动端，所述主动轮(14)与所述从动轮(13)啮合配合，所述驱动件(4)通过所述主动轮(14)与所述从动轮(13)带动所述主轴(8)转动。

6.根据权利要求1所述的多回转中心自转镀膜转架，其特征在于，还包括

屏蔽罩(9)，通过紧固件(10)固定在所述公转盘(5)上，所述公转盘(5)位于所述屏蔽罩(9)内，所述自主轴(3)穿过所述屏蔽罩(9)。

7.根据权利要求6所述的多回转中心自转镀膜转架，其特征在于，所述屏蔽罩(9)为多块屏蔽板(11)组成，所述屏蔽板(11)通过所述紧固件(10)固定在所述公转盘(5)上，所述屏蔽板(11)具有半圆槽，每两个所述屏蔽板(11)组成一个通孔，所述自主轴(3)穿过所述通孔。