[实用新型]一种能够对晶圆可靠防护的转运装置

权利要求书

1.一种能够对晶圆可靠防护的转运装置，其特征在于，包括抽屉架(1)、多组抽屉(3)、四组转向轴(10)、四组轮架(11)、四组滚轮(12)和保护装置，抽屉架(1)内部均等设置有多组抽屉槽(2)，多组抽屉(3)分别可滑动安装在多组抽屉槽(2)内部，四组转向轴(10)可转动安装在抽屉架(1)底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧，四组轮架(11)分别安装在四组转向轴(10)底端，四组滚轮(12)可转动安装在四组轮架(11)内部，保护装置安装在抽屉架(1)顶端；

保护装置包括固定板(4)、转轴(5)、挡板(6)、膜卷(7)和第一螺母(8)，固定板(4)安装在抽屉架(1)顶端左后侧，转轴(5)可转动安装在固定板(4)前端，挡板(6)安装在转轴(5)后部，膜卷(7)插入至转轴(5)上，膜卷(7)上设置有保护膜，转轴(5)前部设置有螺纹，第一螺母(8)与转轴(5)螺纹连接。

2.如权利要求1所述的一种能够对晶圆可靠防护的转运装置，其特征在于，还包括多组分隔板(9)，多组分隔板(9)分别安装在多组抽屉(3)内部。

3.如权利要求2所述的一种能够对晶圆可靠防护的转运装置，其特征在于，还包括两组刹车片(13)和两组踩片(14)，两组刹车片(13)穿过右侧两组轮架(11)与右侧两组滚轮(12)配合连接，两组踩片(14)安装在两组刹车片(13)上。

4.如权利要求3所述的一种能够对晶圆可靠防护的转运装置，其特征在于，还包括两组连接架(15)、挂环(16)、合页(17)、连接板(18)和螺杆(19)，两组连接架(15)分别安装在抽屉架(1)左端和右端，挂环(16)安装在左侧连接架(15)上，连接板(18)通过合页(17)可转动安装在右侧连接架(15)上，螺杆(19)安装在连接板(18)上。

5.如权利要求4所述的一种能够对晶圆可靠防护的转运装置，其特征在于，还包括第二螺母(20)，第二螺母(20)与螺杆(19)螺纹连接。

6.如权利要求5所述的一种能够对晶圆可靠防护的转运装置，其特征在于，还包括推把架(21)和推把杆(22)，推把架(21)安装在抽屉架(1)顶端左侧，推把杆(22)安装在推把架(21)上。

7.如权利要求6所述的一种能够对晶圆可靠防护的转运装置，其特征在于，还包括多组操作把手(23)，多组操作把手(23)分别安装在多组抽屉(3)前端。

8.如权利要求7所述的一种能够对晶圆可靠防护的转运装置，其特征在于，还包括多组锁环(24)和多组销轴(25)，多组锁环(24)分别安装在多组抽屉(3)前端，多组销轴(25)分别可滑动安装在多组抽屉(3)内前端，多组销轴(25)与多组锁环(24)输出端连接。