[实用新型]一种能够对晶圆可靠防护的转运装置

说明书

本实用新型涉及晶圆生产的技术领域，特别是涉及一种能够对晶圆可靠防护的转运装置，其通过设置此设备，可以对晶圆缠绕保护膜，从而防止晶圆在运输途中与抽屉接触而出现磕碰，提高晶圆的转运效果；包括抽屉架、多组抽屉、固定板、转轴、挡板、膜卷、第一螺母、四组转向轴、四组轮架和四组滚轮，抽屉架内部均等设置有多组抽屉槽，多组抽屉分别可滑动安装在多组抽屉槽内部，固定板安装在抽屉架顶端左后侧，转轴可转动安装在固定板前端，第一螺母与转轴螺纹连接，四组转向轴可转动安装在抽屉架底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧，四组轮架分别安装在四组转向轴底端，四组滚轮可转动安装在四组轮架内部。

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产的技术领域，特别是涉及一种能够对晶圆可靠防护的转运装置。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。

晶圆在生产完毕后需要将其转运至指定地点，现有对晶圆转运的方法是，将晶圆分别放置在抽屉架内的多组抽屉中，然后对其进行运输，但是晶圆在运输途中会使晶圆与抽屉板相互之间产生磕碰，从而导致晶圆损坏。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种可以对晶圆缠绕保护膜，从而防止晶圆在运输途中与抽屉接触而出现磕碰，提高晶圆的转运效果的能够对晶圆可靠防护的转运装置。

本实用新型的一种能够对晶圆可靠防护的转运装置，包括抽屉架、多组抽屉、固定板、转轴、挡板、膜卷、第一螺母、四组转向轴、四组轮架和四组滚轮，抽屉架内部均等设置有多组抽屉槽，多组抽屉分别可滑动安装在多组抽屉槽内部，固定板安装在抽屉架顶端左后侧，转轴可转动安装在固定板前端，挡板安装在转轴后部，膜卷插入至转轴上，膜卷上设置有保护膜，转轴前部设置有螺纹，第一螺母与转轴螺纹连接，四组转向轴可转动安装在抽屉架底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧，四组轮架分别安装在四组转向轴底端，四组滚轮可转动安装在四组轮架内部。

本实用新型的一种能够对晶圆可靠防护的转运装置，还包括多组分隔板，多组分隔板分别安装在多组抽屉内部。

本实用新型的一种能够对晶圆可靠防护的转运装置，还包括两组刹车片和两组踩片，两组刹车片穿过右侧两组轮架与右侧两组滚轮配合连接，两组踩片安装在两组刹车片上。

本实用新型的一种能够对晶圆可靠防护的转运装置，还包括两组连接架、挂环、合页、连接板和螺杆，两组连接架分别安装在抽屉架左端和右端，挂环安装在左侧连接架上，连接板通过合页可转动安装在右侧连接架上，螺杆安装在连接板上。

本实用新型的一种能够对晶圆可靠防护的转运装置，还包括第二螺母，第二螺母与螺杆螺纹连接。

本实用新型的一种能够对晶圆可靠防护的转运装置，还包括推把架和推把杆，推把架安装在抽屉架顶端左侧，推把杆安装在推把架上。

本实用新型的一种能够对晶圆可靠防护的转运装置，还包括多组操作把手，多组操作把手分别安装在多组抽屉前端。

本实用新型的一种能够对晶圆可靠防护的转运装置，还包括多组锁环和多组销轴，多组锁环分别安装在多组抽屉前端，多组销轴分别可滑动安装在多组抽屉内前端，多组销轴与多组锁环输出端连接。

与现有技术相比本实用新型的有益效果为：将膜卷插入至转轴上，使膜卷与挡板接触，然后使第一螺母与转轴螺纹连接来对膜卷进行固定，之后将膜卷上的保护膜一端固定在晶圆上，然后将保护膜缠绕在晶圆上，之后使一组抽屉在抽屉槽内滑出，然后将缠绕过保护膜的晶圆放置在抽屉内部，之后将抽屉滑动至抽屉槽内部，然后重复上述操作来对晶圆进行缠绕保护膜之后再放入至多组抽屉内部，之后使四组滚轮转动来带动抽屉架整体移动，从而对晶圆进行转运，通过设置此设备，可以对晶圆缠绕保护膜，从而防止晶圆在运输途中与抽屉接触而出现磕碰，提高晶圆的转运效果。