[实用新型]一种管座芯片共晶装置有效
申请号: | 202122761013.9 | 申请日: | 2021-11-12 |
公开(公告)号: | CN216354121U | 公开(公告)日: | 2022-04-19 |
发明(设计)人: | 俞韶军;范思雨;步晨嘉;付昭辉 | 申请(专利权)人: | 浙江辛帝亚自动化科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/683;H01L21/687;H01L21/67;H01L21/52 |
代理公司: | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人: | 王丽丹 |
地址: | 314400 浙江省嘉兴市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 装置 | ||
1.一种管座芯片共晶装置,包括底座(1)、共晶台(2)和控制系统,所述共晶台(2)下方设有加热座(3),加热座(3)内设有加热棒,用于加热共晶台(2),其特征在于:还包括氮气加热装置(4)、TO管座定位夹取装置(5)和顶杆定位装置;
所述TO管座定位夹取装置(5)包括管座吸嘴(12)、手指夹片(13)、导轨滑块(16)和气缸(18),所述手指夹片(13)固定在导轨滑块(16)两侧,通过气缸(18)实现水平移动,所述管座吸嘴(12)设置于手指夹片(13)中间,通过吸嘴安装座(14)固定,并连接气管接头(15),外接气源;
所述氮气加热装置(4)设置于共晶台(2)一侧,包括氮气加热组件和共晶台罩(6),所述氮气加热组件包括加热管安装座(8)、加热管(9)、进气铜管(10)和出气铜管(11),所述出气铜管(11)延升至共晶台罩(6)内。
2.如权利要求1所述的一种管座芯片共晶装置,其特征在于:所述TO管座定位夹取装置(5)设置两组,交替使用。
3.如权利要求1或2所述的一种管座芯片共晶装置,其特征在于:所述手指夹片(13)后侧设有弹簧组件,所述弹簧组件包括压缩弹簧(21)和弹簧安装座(22),所述压缩弹簧(21)与上安装座(20)内所设的孔匹配套接,在手指夹片(13)前后移动时起到缓冲作用。
4.如权利要求1所述的一种管座芯片共晶装置,其特征在于:所述导轨滑块(16)通过上安装座(20)和下安装座(23)固定,一侧还设有导轨滑块限位块(17)。
5.如权利要求1所述的一种管座芯片共晶装置,其特征在于:所述加热管(9)包括石英玻璃管(24)、上端盖(25)和下端盖(26),形成一个加热腔体,所述石英玻璃管(24)内设有电炉丝(27)和温度传感器(40),电炉丝(27)通过电炉丝上接头(31)和电炉丝下接头(32)相连通电。
6.如权利要求1或5所述的一种管座芯片共晶装置,其特征在于:所述加热管(9)通过加热管安装座(8)上的上下固定板(28)固定。
7.如权利要求1所述的一种管座芯片共晶装置,其特征在于:所述加热管安装座(8)顶部设有吹氮气块(29),吹散共晶台上的空气;所述吹氮气块(29)一侧设有气管连接头(30)。
8.如权利要求1所述的一种管座芯片共晶装置,其特征在于:所述共晶台罩(6)的上面板为玻璃面板(7)。
9.如权利要求1所述的一种管座芯片共晶装置,其特征在于:所述顶杆定位装置包括顶杆(33)、顶杆安装座(34)、顶杆气缸(35)、气缸安装座(36)和用于连接顶杆与气缸的连接件(37)。
10.如权利要求9所述的一种管座芯片共晶装置,其特征在于:所述顶杆定位装置还包括顶杆限位块(38),限制顶杆(33)上下滑动的最低位置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造