[实用新型]一种管座芯片共晶装置有效

专利信息
申请号: 202122761013.9 申请日: 2021-11-12
公开(公告)号: CN216354121U 公开(公告)日: 2022-04-19
发明(设计)人: 俞韶军;范思雨;步晨嘉;付昭辉 申请(专利权)人: 浙江辛帝亚自动化科技有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68;H01L21/683;H01L21/687;H01L21/67;H01L21/52
代理公司: 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 代理人: 王丽丹
地址: 314400 浙江省嘉兴市*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种管座芯片共晶装置,包括底座、共晶台和控制系统,所述共晶台下方设有加热座,加热座内设有加热棒,用于加热共晶台,还包括氮气加热装置、TO管座定位夹取装置和顶杆定位装置;所述TO管座定位夹取装置包括管座吸嘴、手指夹片、导轨滑块和气缸,所述手指夹片固定在导轨滑块两侧,通过气缸实现水平移动,所述管座吸嘴设置于手指夹片中间,通过吸嘴安装座固定,并连接气管接头,外接气源;所述氮气加热装置设置于共晶台一侧,包括氮气加热组件和共晶台罩。本实用新型解决了现有多次夹取造成管座表面划痕多而深的问题。且在共晶台上方设置氮气加热装置,保证共晶温度的稳定性,共晶效果好,管座芯片共晶成品达到品质要求。

技术领域

本实用新型涉及共晶领域,具体涉及一种管座芯片共晶装置。

背景技术

目前,现有共晶机在芯片与管座共晶过程中,夹取管座的取料手指需经过多次夹取才成最终完成共晶,造成管座表面划痕多而深,主要原因是手指与定位件多次硬接触管座造成的,因此达不到品质要求。另外现有共晶台均通过加热座加热共晶,由于加热座设置于共晶台下方,共晶台上方空气流动快,因此不能有效控制共晶台上方温度的稳定性,影响共晶效果。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种管座芯片共晶装置,TO管座定位夹取仅需一次夹取即完成共晶,配合真空吸嘴的取料,解决了现有多次夹取造成管座表面划痕多而深的问题。且在共晶台上方设置氮气加热装置,保证共晶温度的稳定性,共晶效果好,管座芯片共晶成品达到品质要求。

本实用新型解决技术问题所采用的技术方案是:一种管座芯片共晶装置,包括底座、共晶台和控制系统,所述共晶台下方设有加热座,加热座内设有加热棒,用于加热共晶台,还包括氮气加热装置、TO管座定位夹取装置和顶杆定位装置;

所述TO管座定位夹取装置包括管座吸嘴、手指夹片、导轨滑块和气缸,所述手指夹片固定在导轨滑块两侧,通过气缸实现水平移动,所述管座吸嘴设置于手指夹片中间,通过吸嘴安装座固定,并连接气管接头,外接气源;

所述氮气加热装置设置于共晶台一侧,包括氮气加热组件和共晶台罩,所述氮气加热组件包括加热管安装座、加热管、进气铜管和出气铜管,所述出气铜管延升至共晶台罩内。

作为一种优选,所述TO管座定位夹取装置设置两组,交替使用。

作为进一步的改进,所述手指夹片后侧设有弹簧组件,所述弹簧组件包括压缩弹簧和弹簧安装座,所述压缩弹簧与上安装座内所设的孔匹配套接,在手指夹片前后移动时起到缓冲作用。

作为进一步的改进,所述导轨滑块通过上安装座和下安装座固定,一侧还设有导轨滑块限位块。

作为进一步的改进,所述加热管包括石英玻璃管、上端盖和下端盖,形成一个加热腔体,所述石英玻璃管内设有电炉丝和温度传感器,电炉丝通过电炉丝上接头和电炉丝下接头相连通电。

作为一种优选,所述加热管通过加热管安装座上的上下固定板固定。

作为进一步的改进,所述加热管安装座顶部设有吹氮气块,吹散共晶台上的空气;所述吹氮气块一侧设有气管连接头。

作为一种优选,所述共晶台罩的上面板为玻璃面板。

作为进一步的改进,所述顶杆定位装置包括顶杆、顶杆安装座、顶杆气缸、气缸安装座和用于连接顶杆与气缸的连接件。

作为进一步的改进,所述顶杆定位装置还包括顶杆限位块,限制顶杆上下滑动的最低位置。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江辛帝亚自动化科技有限公司,未经浙江辛帝亚自动化科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202122761013.9/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top