[实用新型]一种实验室用可升降调节的靶装置有效

专利信息
申请号: 202122789734.0 申请日: 2021-11-15
公开(公告)号: CN216237256U 公开(公告)日: 2022-04-08
发明(设计)人: 赵海燕;李超;赵文彪 申请(专利权)人: 沈阳富士设备设计有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35
代理公司: 北京哌智科创知识产权代理事务所(普通合伙) 11745 代理人: 齐丽娜
地址: 110000 辽宁省沈阳*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 实验室 升降 调节 装置
【权利要求书】:

1.一种实验室用可升降调节的靶装置,包括固定安装于机体(1)上的固定底座(3)、固定安装于固定底座(3)上方的真空腔(2)、设于真空腔(2)内部的支撑套(4)和固定安装于支撑套(4)上的靶材(5),其特征在于:所述支撑套(4)内部固定安装有安装座(6),所述机体(1)内腔下端部通过轴承连接有传动螺杆(7),所述传动螺杆(7)下端部固定套接有第一齿轮(8),所述机体(1)内腔右侧安装有伺服电机(9),所述伺服电机(9)输出轴上固定套接有第二齿轮(10),所述支撑套(4)外侧呈环形均匀设有限位件(11)。

2.根据权利要求1所述的一种实验室用可升降调节的靶装置,其特征在于:所述第一齿轮(8)和第二齿轮(10)啮合,且第一齿轮(8)和第二齿轮(10)的中心线相互垂直。

3.根据权利要求1所述的一种实验室用可升降调节的靶装置,其特征在于:所述限位件(11)包括呈“L”字形的支架和导杆,所述限位件(11)固定安装于机体(1)上,所述导杆穿过支撑套(4)。

4.根据权利要求1所述的一种实验室用可升降调节的靶装置,其特征在于:所述支撑套(4)和传动螺杆(7)中心共线。

5.根据权利要求1所述的一种实验室用可升降调节的靶装置,其特征在于:所述支撑套(4)和机体(1)之间设有密封圈。

6.根据权利要求1所述的一种实验室用可升降调节的靶装置,其特征在于:所述支撑套(4)呈倒“T”字形,所述支撑套(4)下端部呈开口。

7.根据权利要求1所述的一种实验室用可升降调节的靶装置,其特征在于:所述安装座(6)与传动螺杆(7)通过螺纹连接,所述传动螺杆(7)上端部设有限位块(12)。

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