[实用新型]HJT制绒清洗机超净清洗系统有效
| 申请号： | 202122791831.3 | 申请日： | 2021-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN217069930U | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 周文彬;李世磊;郑严严;李钊 | 申请（专利权）人： | 昆山晟成光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/10;B08B3/14;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 广州市时代知识产权代理事务所(普通合伙) 44438 | 代理人： | 周冠宇;姜洪颖 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | hjt 清洗 净清 系统 | ||
1.HJT制绒清洗机超净清洗系统，包括槽体(1)，其特征在于：所述槽体(1)的材质为高分子塑料，所述槽体(1)槽内部的底部设置有液体匀流分配器(2)；
还包括用于所述槽体(1)槽内外部液体超净循环流动的高分子塑料循环管路(3)、气动泵循环动力部件(4)、高分子塑料材质过滤器(5)和石英容器红外辐射间接加热器(6)，所述气动泵循环动力部件(4)、所述高分子塑料材质过滤器(5)、所述石英容器红外辐射间接加热器(6)和所述液体匀流分配器(2)通过所述高分子塑料循环管路(3)依次连通。
2.根据权利要求1所述的HJT制绒清洗机超净清洗系统，其特征在于：所述石英容器红外辐射间接加热器(6)中的石英采用高纯石英玻璃。
3.根据权利要求1所述的HJT制绒清洗机超净清洗系统，其特征在于：所述气动泵循环动力部件(4)中的气动泵采用高纯高分子塑料材质。
4.根据权利要求1-3中任意一项所述的HJT制绒清洗机超净清洗系统，其特征在于：所述高分子塑料循环管路(3)的管道处设置有流量计。
5.根据权利要求4所述的HJT制绒清洗机超净清洗系统，其特征在于：所述流量计采用管夹式流量计。
6.根据权利要求5所述的HJT制绒清洗机超净清洗系统，其特征在于：还包括比例阀，循环流量通过所述比例阀调整气动泵循环动力部件(4)的通气量来调整循环流量大小，并用所述管夹式流量计反馈进行一个闭环循环系统调整。
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