[实用新型]HJT制绒清洗机超净清洗系统

说明书

本实用新型涉及HJT制绒清洗机超净清洗系统，包括高分子塑料材质的槽体，槽体槽内部的底部设置有液体匀流分配器，还包括用于槽体槽内外部液体超净循环流动的高分子塑料循环管路、气动泵循环动力部件、高分子塑料材质过滤器和石英容器红外辐射间接加热器，气动泵循环动力部件、高分子塑料材质过滤器、石英容器红外辐射间接加热器和液体匀流分配器通过高分子塑料循环管路依次连通，有效保证整个清洗系统在清洗硅片时，没有系统本身的无机物或有机物粘附或析出产生污染硅片的表面，影响硅片表面洁净度的现象，有效保证清洗效果。

技术领域

本实用新型涉及超净清洗技术领域，具体为HJT制绒清洗机超净清洗系统。

背景技术

在HJT制绒清洗设备生产线的领域中，设备使用方都希望在一定程度上提高设备生产程中的工艺的稳定性。

在提高生产批次间的间歇式反应过程中，化学反应需求的工艺条件的稳定性尤为重要，超净清洗槽是整个设备系统中，表面超净表面态清洗的关键工艺步骤，有效保证由于因为整个系统本身材料特性产生的过程携带污染或粘附污染、析出污染，有效的保证初药液纯度以外产生污染物的可能，有效的保证设备整体的工艺制程效果。

因此有必要对超净清洗槽进行一定的优化设计，以保证硅片表面超净表面态，从而避免硅片在后段制程中表面钝化问题及杜绝污染物产生良率与效率影响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供HJT制绒清洗机超净清洗系统，具备了以清洗系统形式安装于制绒清洗机设备主体上，使得整个清洗系统没有无机物或有机物粘附或析出产生污染硅片表面的效果，解决了传统的超净清洗槽难以保证硅片表面超净表面态，以及硅片在后段制程中表面容易出现钝化问题及污染物产生良率与效率的影响。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：HJT制绒清洗机超净清洗系统，包括槽体，所述槽体的材质为高分子塑料，所述槽体槽内部的底部设置有液体匀流分配器。

还包括用于所述槽体槽内外部液体超净循环流动的高分子塑料循环管路、气动泵循环动力部件、高分子塑料材质过滤器和石英容器红外辐射间接加热器，所述气动泵循环动力部件、所述高分子塑料材质过滤器、所述石英容器红外辐射间接加热器和所述液体匀流分配器通过所述高分子塑料循环管路依次连通。

可选的，所述石英容器红外辐射间接加热器中的石英采用高纯石英玻璃。

可选的，所述气动泵循环动力部件中的气动泵采用高纯高分子塑料材质。

可选的，所述高分子塑料循环管路的管道处设置有流量计。

可选的，所述流量计采用管夹式流量计。

可选的，还包括比例阀，循环流量通过所述比例阀调整气动泵循环动力部件的通气量来调整循环流量大小，并用所述管夹式流量计反馈进行一个闭环循环系统调整。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型结构设计合理，利用高分子塑料循环管路、气动泵循环动力部件、高分子塑料材质过滤器和石英容器红外辐射间接加热器组成一个超净循环系统，有效保证整个清洗系统在清洗硅片过程中，没有系统本身的无机物或有机物粘附或析出产生污染硅片的表面，影响硅片表面洁净度的现象，有效保证清洗效果。

附图说明

图1为本实用新型结构的示意图。

图中：1-槽体、2-液体匀流分配器、3-高分子塑料循环管路、4-气动泵循环动力部件、5-高分子塑料材质过滤器、6-石英容器红外辐射间接加热器。

具体实施方式