[实用新型]一种用于制备二硫化钼薄膜的分子束外延生长设备

权利要求书

1.一种用于制备二硫化钼薄膜的分子束外延生长设备，包括工作台(1)和箱体(4)，其特征在于：所述工作台(1)顶端中间位置处安装有箱体(4)，所述箱体(4)前表面一侧中间位置处安装有除尘管(3)，所述除尘管(3)内表面顶端中间位置处与底端中间位置处均安装有静电板(7)，所述工作台(1)靠近底端中间位置处安装有底座(8)，所述底座(8)顶端中间位置处安装有真空泵(6)，所述真空泵(6)一侧中间位置处通过真空管(5)连接于箱体(4)，所述工作台(1)顶端中间位置处通过轴承套接有支撑座(12)，所述支撑座(12)底端外表面位置处安装有齿轮B(19)。

2.根据权利要求1所述的一种用于制备二硫化钼薄膜的分子束外延生长设备，其特征在于：所述箱体(4)内部顶端一侧中间位置处通过连接杆安装有靶板(10)，所述箱体(4)底端位于靶板(10)下端位置处安装有束子源(9)，所述束子源(9)共设有两个，且两个所述束子源(9)分设于箱体(4)底端位于靶板(10)一侧位置处。

3.根据权利要求1所述的一种用于制备二硫化钼薄膜的分子束外延生长设备，其特征在于：所述支撑座(12)顶端位置处均设有放置槽(14)，所述放置槽(14)共设有四个，且四个所述放置槽(14)等角度分设于支撑座(12)顶端四个角位置处，四个所述放置槽(14)内表面位置处安装有材料板(11)。

4.根据权利要求1所述的一种用于制备二硫化钼薄膜的分子束外延生长设备，其特征在于：所述支撑座(12)内部底端一侧中间位置处安装有出油管(17)，所述支撑座(12)内部底端位于出油管(17)一侧位置处安装有进油管(18)，所述支撑座(12)内部位于出油管(17)与进油管(18)间隙位置处安装有密封塞(20)。

5.根据权利要求1所述的一种用于制备二硫化钼薄膜的分子束外延生长设备，其特征在于：所述箱体(4)顶端位于除尘管(3)后表面位置处安装有电动伸缩器(2)，所述电动伸缩器(2)输出轴末端位于除尘管(3)后表面位置处安装有密封板(21)，所述密封板(21)前表面位置处安装有密封垫(22)。

6.根据权利要求1所述的一种用于制备二硫化钼薄膜的分子束外延生长设备，其特征在于：所述箱体(4)顶端位于材料板(11)上端中间位置处安装有衍射仪(13)。

7.根据权利要求1所述的一种用于制备二硫化钼薄膜的分子束外延生长设备，其特征在于：所述工作台(1)底端位于支撑座(12)一侧位置处安装有分度电机(15)，所述分度电机(15)输出轴末端位置处安装有齿轮A(16)，所述齿轮A(16)与齿轮B(19)相啮合。