[实用新型]一种适用于多种晶圆尺寸的真空吸盘

说明书

本实用新型提供一种适用于多种晶圆尺寸的真空吸盘包括由氧化铝陶瓷制成的真空吸盘，所述真空吸盘的底部设置有内环形凸台、外环形凸台和设置在其中心的抽真空气孔，所述内环形凸台内均布有支撑柱和环绕所述抽真空气孔设置的定位孔，所述定位孔的口部均设置有环形平台，所述内环形凸台和外环形凸台之间环布所述定位孔，本实用新型可以覆盖多种尺寸晶圆的装夹，采用本实用新型的设计可以加工一种尺寸的真空吸盘即可应对所有晶圆尺寸的工况，大大降低了定制多种吸盘所需要的成本和工期。

技术领域

本实用新型涉及晶圆抓取设备领域，特别地，是一种适用于多种晶圆尺寸的真空吸盘。

背景技术

现有真空吸盘的主要结构如图1所示，中间孔为抽真空气道，负压使晶圆被吸附在吸盘上，吸盘上的小凸点起支撑作用，防止晶圆在负压下变形。每个不同的晶圆尺寸需要单独定制对应尺寸的陶瓷吸盘。而这种支撑柱的结构的陶瓷吸盘加工成本高，次品率大，工期长，针对每一种单独晶圆尺寸定制会导致生产成本增大。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型的目的在于提供一种适用于多种晶圆尺寸的真空吸盘，该适用于多种尺寸晶圆的真空吸盘能够可靠的抓取多种尺寸的晶圆。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

该适用于多种晶圆尺寸的真空吸盘包括由氧化铝陶瓷制成的真空吸盘，所述真空吸盘的底部设置有内环形凸台、外环形凸台和设置在其中心的抽真空气孔，所述内环形凸台内均布有支撑柱和环绕所述抽真空气孔设置的定位孔，所述定位孔的口部均设置有环形平台，所述内环形凸台和外环形凸台之间环布所述定位孔，所述真空吸盘的顶部设置有固定卡槽。

作为优选，所述内环形凸台、外环形凸台、环形平台和支撑柱之间的平面度误差小于5μm。

本实用新型的优点在于：

本实用新型可以覆盖多种尺寸晶圆的装夹，采用本实用新型的设计可以加工一种尺寸的真空吸盘即可应对所有晶圆尺寸的工况，大大降低了定制多种吸盘所需要的成本和工期。

与现有真空吸盘相比，增加了内环形凸台和外环形凸台之间的外圈部分，外圈部分内的定位孔口部的平台可以起到支撑外圈晶圆部分的作用，且因为负压仅限于内圈部分，因此外圈部分不需要大量支撑柱即可保证晶圆不会在负压下发生变形。

附图说明

图1是适用于单规格晶圆尺寸真空吸盘的示意图。

图2是本适用于多种晶圆尺寸的真空吸盘底部的示意图。

图3是本适用于多种晶圆尺寸的真空吸盘图2实施例的局部放大示意图。

图4是本适用于多种晶圆尺寸的真空吸盘顶部示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明：

在本实施例中，参阅图2、图3和图4，该适用于多种晶圆尺寸的真空吸盘包括由氧化铝陶瓷制成的真空吸盘10，所述真空吸盘10的底部设置有内环形凸台120、外环形凸台130和设置在其中心的抽真空气孔200，所述内环形凸台120内均布有支撑柱110和环绕所述抽真空气孔200设置的定位孔100，所述定位孔100的口部均设置有环形平台，所述内环形凸台120 和外环形凸台130之间环布所述定位孔100，所述真空吸盘10的顶部设置有固定卡槽300。

所述内环形凸台120、外环形凸台130、环形平台和支撑柱110之间的平面度误差小于5μm。

所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围。