[实用新型]一种用于LDI设备的内层对准的标记结构有效
| 申请号： | 202122863072.7 | 申请日： | 2021-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN216485985U | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 肖燕青;符祥震;程珂 | 申请（专利权）人： | 江苏影速集成电路装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 张碧珂 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 ldi 设备 内层 对准 标记 结构 | ||
1.一种用于LDI设备的内层对准的标记结构，其特征在于，所述标记结构包括：DMD(1)，光刻物镜(2)和对准标记模块；其中，DMD(1)和光刻物镜(2)为所述LDI设备自身具备的结构，所述对准标记模块与所述LDI设备上的载物台(8)连接；所述载物台(8)用于承载待曝光PCB板(7)；所述DMD(1)和所述光刻物镜(2)用于通过所述对准标记模块在所述待曝光PCB板(7)的B面曝光出靶标。
2.根据权利要求1所述的一种用于LDI设备的内层对准的标记结构，其特征在于，所述对准标记模块包括：反光镜一(3)、对准透镜组(4)和反光镜二(5)；所述反光镜一(3)、所述对准透镜组(4)和所述反光镜二(5)封装在对准镜筒里形成所述对准标记模块，所述对准标记模块通过螺钉连接固定在所述载物台(8)上。
3.根据权利要求2所述的一种用于LDI设备的内层对准的标记结构，其特征在于，所述反光镜一(3)和所述光刻物镜(2)的光轴之间的夹角为45°，并且所述光刻物镜(2)的光轴经所述反光镜一(3)反射后的方向与所述对准透镜组(4)的光轴重合。
4.根据权利要求3所述的一种用于LDI设备的内层对准的标记结构，其特征在于，所述反光镜二(5)和所述对准透镜组(4)的光轴之间的夹角为45°，并且所述对准透镜组(4)的光轴经所述反光镜二(5)反射后的方向与待曝光PCB板(7)所在平面垂直。
5.根据权利要求2所述的一种用于LDI设备的内层对准的标记结构，其特征在于，所述载物台(8)上设置有保护镜片(6)，所述保护镜片(6)的上表面与所述载物台(8)上表面平齐，并且与经过所述反光镜二(5)反射后的光轴方向垂直。
6.根据权利要求2-4任一所述的一种用于LDI设备的内层对准的标记结构，其特征在于，所述对准透镜组(4)可选用一组成像透镜，也可选用一个成像透镜。
7.根据权利要求6所述的一种用于LDI设备的内层对准的标记结构，其特征在于，所述对准透镜组(4)的物点和像点共轭，并且所述对准透镜组(4)的物点与所述光刻物镜(2)的像点重合，所述对准透镜组(4)的像点最终落在所述待曝光PCB板(7)的B面上。
8.根据权利要求5所述的一种用于LDI设备的内层对准的标记结构，其特征在于，所述保护镜片(6)的上下表面均经抛光处理，并通过胶合的方式固定在载物台(8)上。
9.根据权利要求5所述的一种用于LDI设备的内层对准的标记结构，其特征在于，所述保护镜片(6)选用肖氏硬度大于8的镜片材料。
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