[实用新型]一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置

权利要求书

1.一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置，其特征在于，包括：分离罐、安装在所述分离罐上的至少两根电解棒、超声波发生器、连接在所述分离罐底部的残渣收集箱，所述分离罐与所述残渣收集箱之间设置有排渣阀门；所述分离罐内设置有容纳腔，所述容纳腔与所述残渣收集箱相连通，所述电解棒的电解端伸入至容纳腔内，所述超声波发生器安装在所述容纳腔内。

2.根据权利要求1所述的一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置，其特征在于，所述分离罐的一侧上设置有进液管，另一侧上设置有出液管，且所述进液管设置在所述出液管的上侧。

3.根据权利要求1所述的一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置，其特征在于，所述分离罐包括：罐体、盖在所述罐体上的盖板、连接在所述罐体底部的锥形斗。

4.根据权利要求3所述的一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置，其特征在于，所述锥形斗的出料端连接有一排渣管，所述排渣阀门设置在所述排渣管上，所述排渣管的一端与所述残渣收集箱连接。

5.根据权利要求3所述的一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置，其特征在于，所述电解棒、超声波发生器均固定于所述盖板上。

6.根据权利要求3所述的一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置，其特征在于，所述盖板上还连接有一保护罩，所述保护罩设置在所述容纳腔内，且所述超声波发生器设置在所述保护罩内。

7.根据权利要求3所述的一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置，其特征在于，所述盖板上还设置有一添加管、两握把，所述添加管与所述容纳腔相连通。

8.根据权利要求1所述的一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置，其特征在于，还包括：用于安装所述分离罐的支架、与所述残渣收集箱连接的废水管。