[实用新型]一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置

说明书

本实用新型公开一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置，包括：分离罐、安装在所述分离罐上的至少两根电解棒、超声波发生器、连接在所述分离罐底部的残渣收集箱，所述分离罐与所述残渣收集箱之间设置有排渣阀门；所述分离罐内设置有容纳腔，所述容纳腔与所述残渣收集箱相连通，所述电解棒的电解端伸入至容纳腔内，所述超声波发生器安装在所述容纳腔内。本实用新型通过超声波发生器配合电解棒进行作用，可有效的激活循环液，无需添加还原液，即可将循环液的活性还原如初，有效降低生产成本，实用性强。

技术领域

本实用新型涉及显影、蚀刻装置领域，尤其涉及一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置。

背景技术

现有技术中，对于放久的显影液蚀刻以及多次使用后性能下降的显影液，一般都是废弃处理或是添加还原剂来恢复其活性。然而采用上述方式处理显影液存在以下问题：1、疲劳的显影液、蚀刻液(以下统称循环液)直接废弃处理或全溶液蒸发干燥所消耗的能源非常大，若添加还原剂可以恢复药水活性但无法将其活性恢复如初；2、循环液中容易形成光刻胶凝聚物或氯化亚铜、氯化铁、氯化亚铁的沉积物污染药水，其沉淀物从溶液中吸取H根或OH根离子惰化溶液，使用中有没得到彻底解决。

因此，现有技术存在缺陷，需要改进。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术的不足，提供一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置，解决现有技术中，循环液的活性无法完全恢复的问题；同时解决循环液中的光刻胶凝聚物或氯化亚铜、氯化铁、氯化亚铁的沉积物无法完成清除，导致药水污染的问题。

本实用新型的技术方案如下：一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置，包括：分离罐、安装在所述分离罐上的至少两根电解棒、超声波发生器、连接在所述分离罐底部的残渣收集箱，所述分离罐与所述残渣收集箱之间设置有排渣阀门；所述分离罐内设置有容纳腔，所述容纳腔与所述残渣收集箱相连通，所述电解棒的电解端伸入至容纳腔内，所述超声波发生器安装在所述容纳腔内。

进一步地，所述分离罐的一侧上设置有进液管，另一侧上设置有出液管，且所述进液管设置在所述出液管的上侧。

进一步地，所述分离罐包括：罐体、盖在所述罐体上的盖板、连接在所述罐体底部的锥形斗。

进一步地，所述锥形斗的出料端连接有一排渣管，所述排渣阀门设置在所述排渣管上，所述排渣管的一端与所述残渣收集箱连接。

进一步地，所述电解棒、超声波发生器均固定于所述盖板上。

进一步地，所述盖板上还连接有一保护罩，所述保护罩设置在所述容纳腔内，且所述超声波发生器设置在所述保护罩内。

进一步地，所述盖板上还设置有一添加管、两握把，所述添加管与所述容纳腔相连通。

进一步地，所述的一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置，还包括：用于安装所述分离罐的支架、与所述残渣收集箱连接的废水管。

采用上述方案，本实用新型提供一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置，具有以下有益效果：

1、在超声波的振动作用下，可快速分离出循环液中包含的光刻胶凝聚物，以及氯化亚铜、氯化铁、氯化亚铁的沉积物及杂质颗粒；

2、通过超声波发生器配合电解棒进行作用，可有效的激活循环液，无需添加还原液，即可将循环液的活性还原如初，有效降低生产成本，实用性强。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型另一角度的结构示意图；

图3为本实用新型右视角度的结构示意图；

图4为图3中A-A的剖面图。