[实用新型]一种超低真空程序控温的前处理装置

权利要求书

1.一种超低真空程序控温的前处理装置，其特征在于：包括主干系统、压力控制系统和温度控制系统；

主干系统包括样品仓模块、管道模块、冷阱模块和回填模块；压力控制系统包括真空规、泵组、泵速调节组件和压力监控组件；温度控制系统包括加热仓、温度控制组件和温度采集记录器；

样品仓模块连接在管道模块的入口，管道模块的出口并联出三个端口，一端接冷阱模块的入口，一端接回填模块的入口，一端接真空规的入口；冷阱模块的出口经泵速调节组件与泵组连接，真空规和泵速调节组件均与压力监控组件连接；

加热仓用于加热样品仓模块，温度控制组件用于加热仓的程序升温和控温，温度采集记录器用于实时记录采集加热仓的温度数据。

2.根据权利要求1所述的一种超低真空程序控温的前处理装置，其特征在于：所述样品仓模块包括依次连接的样品管、卡套、适配器、密封垫、过滤片和样品管端口。

3.根据权利要求2所述的一种超低真空程序控温的前处理装置，其特征在于：所述管道模块包括用于连接样品管端口的歧路管道、总的主干管道以及其末端并联出来的三个端口所需的卡口。

4.根据权利要求1所述的一种超低真空程序控温的前处理装置，其特征在于：所述冷阱模块包括空心的圆形不锈钢直管和石英管、与之相通的密闭仓、卡套、适配器、与之匹配的带盖冷阱仓。

5.根据权利要求1所述的一种超低真空程序控温的前处理装置，其特征在于：所述回填模块包括回填气阀门、调压阀和高压气瓶，高压气瓶经调压阀、回填气阀门与管道模块相连。

6.根据权利要求1所述的一种超低真空程序控温的前处理装置，其特征在于：所述泵速调节组件包括针阀、细抽阀门、粗抽阀门和三通一；

所述的冷阱模块的出口分为两路，一路经针阀、细抽阀门与三通一的一个入口相连，另一路经粗抽阀门与三通一的另一个入口相连，三通一的出口与所述泵组相连。

7.根据权利要求6所述的一种超低真空程序控温的前处理装置，其特征在于：所述泵组包括三通二、三通三、截止阀一、截止阀二、分子泵和油泵；

三通二的入口与泵速调节组件的三通一的出口相连，三通二的一个出口经截止阀一、分子泵与三通三的一个入口相连，三通二的另一个出口经截止二与三通三的另一个入口相连，三通三的出口与油泵相连。

8.根据权利要求1所述的一种超低真空程序控温的前处理装置，其特征在于：所述加热仓设置为多个，每个加热仓均独立配置一个温度控制组件，使得多个加热仓能够分段程序升温和控温。

9.根据权利要求1所述的一种超低真空程序控温的前处理装置，其特征在于：所述加热仓设有若干用于加热样品仓模块的加热腔，加热腔的内壁设有保温层，保温层内侧设有耐高温防火布，耐高温防火布内部铺设有加热丝和感温探头。