[实用新型]一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置

权利要求书

1.一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置，包括预热座(1)，其特征在于：所述预热座(1)的上方设有预热罩(2)，所述预热罩(2)的顶部设有调节架(3)，所述调节架(3)一侧开设有滑槽(6)，所述滑槽(6)内部设有丝杆(4)，所述丝杆(4)的一端转动连接有调节架(3)顶部设有的电机(5)的输出端，所述滑槽(6)内丝杆(4)的外壁套设有滑板(7)，所述滑板(7)延伸至滑槽(6)外的一端底部连接有连接杆(8)，所述连接杆(8)的一端穿过预热罩(2)顶部并通过限制机构连接有加热架(9)，所述加热架(9)内侧设有若干红外线加热管(10)，所述红外线加热管(10)的下方设有吸盘(11)，所述吸盘(11)位于预热座(1)内部，所述吸盘(11)顶部设有基板。

2.根据权利要求1所述的一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置，其特征在于：所述限制机构包括连接头(12)，所述连接头(12)与加热架(9)固定连接，所述连接头(12)顶部开设有与连接杆(8)相匹配的安装槽(18)，所述连接头(12)的两侧对称设有插杆(13)，所述插杆(13)的一端插入连接头(12)内并延伸到安装槽(18)内与连接杆(8)相连接，所述连接头(12)两侧且位于插杆(13)的下方对称开设有凹槽(15)，所述凹槽(15)内部安装有限制杆(16)，所述限制杆(16)一端贯穿插杆(13)，所述凹槽(15)内限制杆(16)的下端连接有拉板(14)，所述凹槽(15)内限制杆(16)的外壁上套设有弹簧(17)。

3.根据权利要求1所述的一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置，其特征在于：所述滑板(7)通过丝杆螺母与丝杆(4)活动连接，所述滑板(7)与连接杆(8)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置，其特征在于：所述连接杆(8)插入安装槽(18)内的部分侧壁对称开设有与插杆(13)相匹配的插槽，所述插杆(13)为L形结构。

5.根据权利要求2所述的一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置，其特征在于：所述限制杆(16)的两端分别与拉板(14)和凹槽(15)内顶部固定连接，所述拉板(14)的一端延伸到凹槽(15)外侧。

6.根据权利要求2所述的一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置，其特征在于：所述拉板(14)的侧壁与凹槽(15)内壁相贴合，所述拉板(14)与凹槽(15)内壁滑动连接。