[实用新型]一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置

说明书

本实用新型公开了一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置，包括预热座，所述预热座的上方设有预热罩，所述预热罩的顶部设有调节架，所述调节架一侧开设有滑槽，所述滑槽内部设有丝杆，本实用新型通过设有的加热架与红外线加热管的使用，能够对基板上的光阻作热处理，让光阻微硬化，传送时即可避免因软性基板变形而造成光阻流动，从而使光阻厚度均匀，同时配合设有的调节架、丝杆、电机、滑板和拉杆的使用，使其能够改变红外线加热管与基板之间距离，使其加热效果更好；通过设有的连接头、插杆、拉板、限制杆和弹簧的配合使用，使其能够方便加热架和红外线加热管的拆装，使其便于更换或维修。

技术领域

本实用新型涉及液晶显示器生产设备技术领域，具体为一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置。

背景技术

光阻，亦称为光阻剂，是一个用在许多工业制程上的光敏材料。像是光刻技术，可以在材料表面刻上一个图案的被覆层。光阻主要由树脂(resin)，感光剂(sensitizer)，溶剂(solvent)三种成分混合而成；而光阻可分为正光阻及负光阻两种，正光阻是光阻本身难溶于显影液，曝光后解离成小分子，形成容易溶于显影液的结构；负光阻是曝光后形成不容易溶于显影液的结构；在液晶显示器件的制作过程中，需要在基板上均匀涂上一层光阻材料，以便制作电路图案，并且还要经过对该光阻材料的干燥和烘烤操作，以使该光阻材料的成型结构稳定。

现有的，软性基板光阻涂布以后通常直接传送到热板对其进行软烤，从而在传送的过程中，软板会发生变形，而软板的变形则会造成光阻流动，从而使得光阻分布不均匀及使得其厚度不均匀。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置，包括预热座，所述预热座的上方设有预热罩，所述预热罩的顶部设有调节架，所述调节架一侧开设有滑槽，所述滑槽内部设有丝杆，所述丝杆的一端转动连接有调节架顶部设有的电机的输出端，所述滑槽内丝杆的外壁套设有滑板，所述滑板延伸至滑槽外的一端底部连接有连接杆，所述连接杆的一端穿过预热罩顶部并通过限制机构连接有加热架，所述加热架内侧设有若干红外线加热管，所述红外线加热管的下方设有吸盘，所述吸盘位于预热座内部，所述吸盘顶部设有基板。

进一步的，所述限制机构包括连接头，所述连接头与加热架固定连接，所述连接头顶部开设有与连接杆相匹配的安装槽，所述连接头的两侧对称设有插杆，所述插杆的一端插入连接头内并延伸到安装槽内与连接杆相连接，所述连接头两侧且位于插杆的下方对称开设有凹槽，所述凹槽内部安装有限制杆，所述限制杆一端贯穿插杆，所述凹槽内限制杆的下端连接有拉板，所述凹槽内限制杆的外壁上套设有弹簧，使得加热架与红外线加热管便于拆装。

进一步的，所述滑板通过丝杆螺母与丝杆活动连接，所述滑板与连接杆固定连接，确保丝杆能够带动连接杆进行同步上下移动。

进一步的，所述连接杆插入安装槽内的部分侧壁对称开设有与插杆相匹配的插槽，所述插杆为L形结构，确保能够对连接杆进行限制固定。

进一步的，所述限制杆的两端分别与拉板和凹槽内顶部固定连接，所述拉板的一端延伸到凹槽外侧，使得拉板便于拉动。

进一步的，所述拉板的侧壁与凹槽内壁相贴合，所述拉板与凹槽内壁滑动连接，确保其能够在调节时保持一定的稳定，同时起到导向的作用。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：

1、本实用新型通过设有的加热架与红外线加热管的使用，能够对基板上的光阻作热处理，让光阻微硬化，传送时即可避免因软性基板变形而造成光阻流动，从而使光阻厚度均匀，同时配合设有的调节架、丝杆、电机、滑板和拉杆的使用，使其能够改变红外线加热管与基板之间距离，使其加热效果更好；