[实用新型]一种多列式的舟结构

权利要求书

1.一种多列式的舟结构,其特征在于：包括盖板、底板、支撑装置以及至少一组的承载装置，盖板和底板通过支撑装置连接，承载装置安装在盖板和底板之间，盖板、底板、支撑装置以及承载装置形成放置晶片的放置腔。

2.根据权利要求1所述的一种多列式的舟结构，其特征在于：所述支撑装置包括至少两组支撑结构，两组支撑结构位于盖板以及底板的两侧对盖板以及底板进行连接以及支撑，两组支撑结构位于晶片放置的垂直方向，支撑结构、盖板以及底板构成总腔体。

3.根据权利要求2所述的一种多列式的舟结构，其特征在于：所述支撑结构至少包括一组槽板，槽板位于盖板和底板之间，槽板的上端与盖板连接，槽板的下端与底板连接，槽板上固设有槽口，槽口位于各支撑结构的相对面上，槽口开口方向朝向放置腔。

4.根据权利要求1所述的一种多列式的舟结构，其特征在于：所述支撑装置包括两组支撑结构，一组支撑结构包括两组槽板，四组槽板分布在盖板和底板的四个角。

5.根据权利要求3所述的一种多列式的舟结构，其特征在于：还包括稳定杆，稳定杆用于对每组支撑结构的若干槽板进行连接，稳定杆固设有把手，把手与石英舟结构的重心处于同一水平面。

6.根据权利要求3所述的一种多列式的舟结构，其特征在于：所述承载装置包括至少一组承载板，承载板位于总腔体，承载板与盖板或/和底板连接，将总腔体在水平方向的左右或/和前后分隔成若干放置腔。

7.根据权利要求6所述的一种多列式的舟结构，其特征在于：所述承载板固设有若干承载口，承载口与放置腔相对，承载口的开口方向朝向放置腔，一组放置腔内的承载口和槽口或/和两组承载口数量相配，且对应的承载口和槽口或/和两组承载口处于同一水平面，晶片放置在承载口和槽口或/和两组承载口内，使晶片平行放置，平行放置的晶片与热量辐射方向平行。

8.根据权利要求1所述的一种多列式的舟结构，其特征在于：还包括至少一组隔板，隔板位于盖板和底板之间，将总腔体在竖直方向分隔成若干分腔体，承载装置安装在至少一组分腔体，将分腔体在水平方向分隔成若干放置腔，未安装承载装置的分腔体用于承载晶片。

9.根据权利要求1所述的一种多列式的舟结构，其特征在于：所述支撑装置包括三组支撑结构，两组支撑结构位于晶片放置的垂直方向对盖板以及底板进行连接以及支撑，另一组支撑结构位于晶片放置的平行方向对盖板以及底板进行连接以及支撑。

10.根据权利要求2所述的一种多列式的舟结构，其特征在于：所述盖板以及底板采用平板结构，盖板位于底板的上方，底板对石英舟结构进行支撑，盖板与底板平行设置，承载板与盖板或/和底板可拆卸连接，承载板在总腔体内活动连接，控制放置腔的宽度。