[实用新型]一种氯硅烷检测样品的前处理系统有效
| 申请号： | 202122929768.5 | 申请日： | 2021-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN217033263U | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 安军林;朱芙蓉;陈英春;陈英;曹岩德;魏东亮;邢成莉;姜涛 | 申请（专利权）人： | 亚洲硅业（青海）股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司;青海亚洲硅业半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人： | 张巨箭 |
| 地址： | 810007 青海*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅烷 检测 样品 处理 系统 | ||
1.一种氯硅烷检测样品的前处理系统，其特征在于：其包括低温吸收挥发装置，所述低温吸收挥发装置包括冷凝子装置和采样瓶(12)，采样瓶(12)设于冷凝子装置中，采样瓶(12)输入端通入有氯硅烷样品。
2.根据权利要求1所述的一种氯硅烷检测样品的前处理系统，其特征在于：所述冷凝子装置为杜冷杯(11)，杜冷杯(11)中盛有冷凝物质。
3.根据权利要求2所述的一种氯硅烷检测样品的前处理系统，其特征在于：所述冷凝物质为液氮。
4.根据权利要求2所述的一种氯硅烷检测样品的前处理系统，其特征在于：所述杜冷杯(11)上设有可视窗口。
5.根据权利要求2所述的一种氯硅烷检测样品的前处理系统，其特征在于：所述杜冷杯(11)或采样瓶(12)中设有温度检测器。
6.根据权利要求1所述的一种氯硅烷检测样品的前处理系统，其特征在于：所述采样瓶(12)输出端连接有废气吸收装置。
7.根据权利要求6所述的一种氯硅烷检测样品的前处理系统，其特征在于：所述废气吸收装置为废气吸收瓶(2)，废气吸收瓶(2)中盛有碱液。
8.根据权利要求1所述的一种氯硅烷检测样品的前处理系统，其特征在于：所述采样瓶(12)输入端连接有缓冲瓶(3)，氯硅烷样品经缓冲瓶(3)进入采样瓶(12)。
9.根据权利要求1所述的一种氯硅烷检测样品的前处理系统，其特征在于：所述前处理系统还包括存储氯硅烷样品的取样瓶(4)，取样瓶(4)输出端与采样瓶(12)输入端连接。
10.根据权利要求9所述的一种氯硅烷检测样品的前处理系统，其特征在于：所述取样瓶(4)并联设置一旁路(6)，旁路(6)一端通入惰性气体，另一端与采样瓶(12)输入端连接。
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