[实用新型]一种氯硅烷检测样品的前处理系统

说明书

本实用新型公开了一种氯硅烷检测样品的前处理系统，属于化工检测技术领域，包括低温吸收挥发装置，所述低温吸收挥发装置包括冷凝子装置和采样瓶(12)，采样瓶(12)设于冷凝子装置中，采样瓶(12)输入端通入有氯硅烷样品。本实用新型通过冷凝子装置配合采样瓶得到氯硅烷样品的凝液，实现了低沸点、易挥发氯硅烷检测样品的前处理；整个前处理过程完全密封，一方面能够避免氯硅烷样品直接与空气接触；另一方面能够保证氯硅烷样品充分冷凝，进而从氯硅烷样品中获取检测样品，以此保证检测样品制备的准确性与可靠性。

技术领域

本实用新型涉及化工检测技术领域，尤其涉及一种氯硅烷检测样品的前处理系统。

背景技术

氯硅烷是制备多晶硅的重要原料,氯硅烷中杂质含量的高低是影响多晶硅产品质量的重要因素，一般通过检测其杂质含量进而监控氯硅烷制备工艺。其中氯硅烷的杂质包括B、P及金属元素等，B、P和金属杂质含量采用电感耦合等离子体质谱仪进行检测。针对低沸点物质，尤其是氯硅烷，由于其在空气极易挥发，且容易自燃，导致制备氯硅烷中杂质含量的检测样品困难，这是本领域亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中氯硅烷中杂质含量的检测样品制备困难的问题，提供了一种氯硅烷检测样品的前处理系统。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：一种氯硅烷检测样品的前处理系统，其包括低温吸收挥发装置，所述低温吸收挥发装置包括冷凝子装置和采样瓶，采样瓶设于冷凝子装置中，采样瓶输入端通入有氯硅烷样品。

在一示例中，所述冷凝子装置为杜冷杯，杜冷杯中盛有冷凝物质。或，冷凝子装置为半导体制冷设备。

在一示例中，所述冷凝物质为液氮。

在一示例中，所述杜冷杯上设有可视窗口。

在一示例中，所述杜冷杯或采样瓶中设有温度检测器。

在一示例中，所述采样瓶输出端连接有废气吸收装置。

在一示例中，所述废气吸收装置为废气吸收瓶，废气吸收瓶中盛有碱液。

在一示例中，所述采样瓶输入端连接有缓冲瓶，氯硅烷样品经缓冲瓶进入采样瓶。

在一示例中，所述前处理系统还包括存储氯硅烷样品的取样瓶，取样瓶输出端与采样瓶输入端连接。

在一示例中，所述取样瓶设有并联旁路，并联旁路一端通入惰性气体，另一端与采样瓶输入端连接。作为一选项，惰性气体为氮气或氩气。

需要进一步说明的是，上述各示例对应的技术特征可以相互组合或替换构成新的技术方案。

与现有技术相比，本实用新型有益效果是：

1、在一示例中，通过冷凝子装置配合采样瓶得到氯硅烷样品的凝液，即实现了氯硅烷检测样品的前处理(预处理)；整个前处理过程完全密封，一方面能够避免氯硅烷样品直接与空气接触；另一方面能够保证氯硅烷样品充分冷凝，进而从氯硅烷样品中获取检测样品(氯硅烷中杂质)，以此保证检测样品制备的准确性与可靠性。

2、在一示例中，通过杜冷杯上的可视窗口，便于观察氯硅烷样品的位置和液位，实现对检测样品前处理全过程的实时监控。

3、在一示例中，通过温度检测器能够实时监控采样瓶的温度，保证氯硅烷样品能够有效冷凝，实现对氯硅烷检测样品的前处理。

4、在一示例中，通过废气吸收装置能够吸收未冷凝的氯硅烷样品，防止未冷凝的氯硅烷及其杂质挥发至空气中引发安全事故。

5、在一示例中，通过缓冲瓶能够保证整个检测样品前处理过程的平稳性。

6、在一示例中，通过取样瓶向采样瓶中输送氯硅烷样品，进一步保证了检测样品前处理过程的稳定性与可靠性。