[实用新型]一种真空镀膜机用蒸发装置

权利要求书

1.一种真空镀膜机用蒸发装置，包括安装在支撑台(1)上的蒸发平台(3)，其特征在于，所述蒸发平台(3)侧边通过铰链(11)铰接有多个用于放置蒸发舟(6)的置物架(2)，且所述置物架(2)的底部通过支撑杆(9)与所述支撑台(1)连接，所述蒸发平台(3)由升降气缸(12)控制上下移动，在所述蒸发平台(3)下降时带动所述置物架(2)向着所述蒸发平台(3)倾斜，使所述蒸发舟(6)根据自身重力移动到所述蒸发平台(3)上进行内部基材的蒸发。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用蒸发装置，其特征在于，所述蒸发平台(3)为圆盘结构，置物架(2)圆周分布在蒸发平台(3)侧边。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用蒸发装置，其特征在于，所述置物架(2)的顶部安装有用于遮盖蒸发舟(6)的盖板(7)，置物架(2)顶部设置滑轨，盖板(7)通过滑轨滑动连接置物架(2)。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用蒸发装置，其特征在于，所述蒸发舟(6)包括舟体(14)，舟体(14)的内部安装有电阻板(15)，电阻板(15)的正负极通过导电柱(17)伸出舟体(14)底部，蒸发平台(3)的表面设置有电极触点(5)，电极触点(5)与蒸发平台(3)底部安装的电源模块(13)电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用蒸发装置，其特征在于，所述蒸发平台(3)的表面设置有定位磁片(4)，蒸发舟(6)的底部安装有磁铁环(16)，定位磁片(4)与磁铁环(16)磁性吸附。

6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜机用蒸发装置，其特征在于，所述置物架(2)的端部通过弹簧(8)连接蒸发舟(6)，利用弹簧(8)弹力可将蒸发平台(3)上的蒸发舟(6)拉回置物架(2)，置物架(2)上还设置有定位电磁铁(10)，定位电磁铁(10)通电时与磁铁环(16)磁性吸附。