[实用新型]一种DRIE机台的等离子体约束环用定位锁定结构

权利要求书

1.一种DRIE机台的等离子体约束环用定位锁定结构，包括螺旋传动组件和升降主体，其特征在于，所述螺旋传动组件包括转动环和丝杆，所述转动环沿轴向形成有贯穿所述转动环的传动螺孔，所述丝杆沿周向凸出形成有传动环部，所述传动环部与所述传动螺孔螺纹连接，所述转动环的位置固定，转动所述传动环时，所述传动环部带动所述丝杆相对于所述转动环轴向移动；

所述升降主体与所述丝杆固定连接并随所述丝杆移动，所述升降主体与所述等离子体约束环连接，所述升降主体随所述丝杆移动过程中带动所述等离子体约束环移动；

所述转动环的侧壁开设有径向贯通所述转动环的止动螺孔，所述止动螺孔内安装有止动螺杆，所述止动螺杆的顶部延伸至所述传动螺孔内，所述止动螺杆的顶部至所述丝杆的表面的距离小于所述传动螺孔的孔壁至所述丝杆的表面的距离，所述止动螺杆对所述丝杆进行定位锁定。

2.如权利要求1所述的定位锁定结构，其特征在于，所述止动螺杆延伸至所述传动螺孔内的部分形成为楔形结构。

3.如权利要求2所述的定位锁定结构，其特征在于，所述丝杆具有沿轴向方向的线性微调范围，所述线性微调范围通过控制所述楔形结构的顶端至所述丝杆表面的距离实现。

4.如权利要求3所述的定位锁定结构，其特征在于，所述线性微调范围为0.5mm-1.5mm。

5.如权利要求1所述的定位锁定结构，其特征在于，所述升降主体安装于所述丝杆的顶端。

6.如权利要求5所述的定位锁定结构，其特征在于，所述升降主体与所述丝杆通过紧固件连接。

7.如权利要求1所述的定位锁定结构，其特征在于，所述螺旋传动组件共有三组。

8.如权利要求7所述的定位锁定结构，其特征在于，三组所述螺旋传动组件沿所述升降主体的周向平均分布。