[实用新型]一种便于抓取晶圆的晶圆容器

权利要求书

1.一种便于抓取晶圆的晶圆容器，其特征在于，包括：

外壳；

内壳，所述内壳设置在所述外壳内，所述内壳包括U型结构的第一支撑板、设置于所述第一支撑板一侧的第二支撑板以及设置于所述第一支撑板另一侧的第三支撑板，所述第一支撑板的内壁间隔设置有多个第一梳齿结构，多个所述第一梳齿结构由所述第一支撑板的一侧向另一侧依次排列设置，外侧的两个所述第一梳齿结构分别为第一子梳齿结构和第二子梳齿结构，所述第一子梳齿结构和所述第二子梳齿结构分别靠近所述第一支撑板对应的两侧边缘，所述第一子梳齿结构的高度大于其余的所述第一梳齿结构；

所述第一支撑板、所述第二支撑板以及所述第三支撑板围成用于收容晶圆的收容空间，所述第一子梳齿结构用于抵接所述晶圆的一端。

2.如权利要求1所述的便于抓取晶圆的晶圆容器，其特征在于，所述第二子梳齿结构的高度大于其余的所述第一梳齿结构，所述第二子梳齿结构用于抵接所述晶圆的另一端。

3.如权利要求2所述的便于抓取晶圆的晶圆容器，其特征在于，所述第一子梳齿结构和所述第二子梳齿结构的高度为10mm至12mm。

4.如权利要求3所述的便于抓取晶圆的晶圆容器，其特征在于，所述第一子梳齿结构和所述第二子梳齿结构的高度为11mm。

5.如权利要求1至4任一项所述的便于抓取晶圆的晶圆容器，其特征在于，所述第一子梳齿结构和所述第二子梳齿结构分别与所述第一支撑板对应的两侧边缘间隔设置。

6.如权利要求5所述的便于抓取晶圆的晶圆容器，其特征在于，所述第一子梳齿结构与所述第一支撑板对应的边缘的间隔距离大于相邻两个所述第一梳齿结构的间隔距离。

7.如权利要求5所述的便于抓取晶圆的晶圆容器，其特征在于，所述第二子梳齿结构与所述第一支撑板对应的边缘的间隔距离大于相邻两个所述第一梳齿结构的间隔距离。

8.如权利要求1至4任一项所述的便于抓取晶圆的晶圆容器，其特征在于，所述第三支撑板设置于所述第一支撑板一侧的部分位置。

9.如权利要求8所述的便于抓取晶圆的晶圆容器，其特征在于，所述第三支撑板为H型结构。

10.如权利要求1所述的便于抓取晶圆的晶圆容器，其特征在于，所述外壳包括第一壳体以及盖设于所述第一壳体上的第二壳体。