[实用新型]一种高压加热炉和工艺设备

权利要求书

1.一种高压加热炉，其特征在于，包括：

管式的金属腔体，所述金属腔体中具有空腔，所述空腔的开口朝向所述金属腔体的底部；

加热罩，所述加热罩围绕所述金属腔体的外腔壁设置；

门组件，所述门组件包括：位于所述金属腔体底部的支架底托；位于所述支架底托上且与所述支架底托固定连接的晶舟，所述晶舟适于伸入所述空腔中。

2.根据权利要求1所述的高压加热炉，其特征在于，还包括：密封环，所述密封环凸设于所述开口周围的所述金属腔体的内壁表面；

若干第一连接件，若干所述第一连接件间隔的凸设于所述金属腔体的内壁表面，所述第一连接件位于所述密封环背向所述金属腔体的顶面的一侧且与所述密封环间隔设置；

所述支架底托包括：支架底托本体；若干间隔设置的第二连接件，围绕所述支架底托本体且与所述支架底托本体的外侧壁表面固定连接；

所述第二连接件适于在密封环背向所述金属腔体的顶面的一侧表面旋转，所述第二连接件还适于被限位在所述密封环和所述第一连接件之间。

3.根据权利要求1所述的高压加热炉，其特征在于，所述加热罩中包括电阻加热丝或者红外线加热管。

4.根据权利要求1所述的高压加热炉，其特征在于，所述加热罩与所述金属腔体的外腔壁之间具有间隙；

所述高压加热炉还包括：

第一进气管，所述第一进气管的一端连通所述间隙，所述第一进气管的另一端连通第一气体源；

第一排气管，所述第一排气管的一端连通所述间隙。

5.根据权利要求4所述的高压加热炉，其特征在于，所述间隙的宽度为5mm～200mm。

6.根据权利要求1所述的高压加热炉，其特征在于，所述晶舟包括：沿着垂直于所述支架底托的表面的方向上间隔设置的若干承载板；位于所述承载板的侧部且与承载板和所述支架底托固定连接的支撑件。

7.根据权利要求6所述的高压加热炉，其特征在于，相邻的两个所述承载板之间的间距为5㎜～15㎜。

8.根据权利要求1所述的高压加热炉，其特征在于，所述金属腔体的外侧壁表面呈圆柱形，所述金属腔体的直径为100㎜～500㎜。

9.根据权利要求1所述的高压加热炉，其特征在于，还包括：

抽气管，所述抽气管的一端连通所述空腔，所述抽气管的另一端连通抽气泵；

第二进气管，所述第二进气管的一端连通所述空腔，所述第二进气管的另一端连通增压器。

10.根据权利要求1所述的高压加热炉，其特征在于，还包括：

安全阀，所述安全阀与所述金属腔体连接且与所述空腔连通；

压力检测器，所述压力检测器与所述安全阀电学连接，所述压力检测器的检测端位于所述金属腔体的内部，所述压力检测器适于检测所述金属腔体内部的压力并控制所述安全阀开启或者关闭。

11.一种工艺设备，其特征在于，包括权利要求1至10任一项所述的高压加热炉。

12.根据权利要求11所述的工艺设备，其特征在于，还包括：

密封腔体，所述密封腔体中适于容纳门组件；

所述密封腔体包括：相对设置的顶密封板和底密封板；位于所述顶密封板和底密封板之间且与顶密封板和底密封板固定连接的侧密封板；所述顶密封板为环状结构，所述顶密封板与所述金属腔体的外侧壁的底部区域连接；所述侧密封板中设置有密封阀门。