[实用新型]一种立式热处理设备有效

专利信息
申请号: 202122983936.9 申请日: 2021-11-30
公开(公告)号: CN217214645U 公开(公告)日: 2022-08-16
发明(设计)人: 高爽;王凯;甄瑞杰 申请(专利权)人: 北京北方华创微电子装备有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京思创毕升专利事务所 11218 代理人: 孙向民;廉莉莉
地址: 100176 北京市大*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 立式 热处理 设备
【权利要求书】:

1.一种立式热处理设备,其特征在于,包括设备主体(8)、设置在所述设备主体(8)上的门框(2)、设置在所述门框(2)上下两端的导向件、用于密封所述门框(2)对应开口的密封门(1)和用于驱动所述密封门运动的驱动机构;

所述驱动机构的一端设于所述门框(2)上,另一端连接于所述密封门(1),且所述密封门(1)和所述导向件均相对于所述驱动机构的中心线对称,所述驱动机构用于驱动所述密封门(1)沿所述导向件运动,以实现所述密封门(1)的开闭。

2.根据权利要求1所述的立式热处理设备,其特征在于,所述导向件为导向轴(3),所述密封门(1)的上端和下端分别通过轴承座(5)连接于所述导向轴(3),所述轴承座(5)相对于所述驱动机构的中心线对称设置。

3.根据权利要求1所述的立式热处理设备,其特征在于,所述驱动机构包括气缸(4),所述气缸(4)的缸体通过第一气缸支架(41)设于所述门框(2)的第一侧边上,所述气缸(4)的活塞杆平行于所述导向件设置且通过第二气缸支架(42)连接于所述密封门(1)。

4.根据权利要求3所述的立式热处理设备,其特征在于,还包括连杆机构(6),所述连杆机构(6)包括相互铰接的第一连杆(61)和第二连杆(62),所述第一连杆(61)的一端铰接于所述门框(2)的所述第一侧边,所述第二连杆(62)的一端铰接于所述密封门(1)。

5.根据权利要求4所述的立式热处理设备,其特征在于,所述连杆机构(6)为一对,一对所述连杆机构(6)以所述驱动机构为中心对称设置。

6.根据权利要求4所述的立式热处理设备,其特征在于,所述第一连杆(61)和所述第二连杆(62)通过第一连接轴(63)铰接,所述第一连杆(61)与所述第一连接轴(63)通过第一轴承(64)转动连接,所述第二连杆(62)与所述第一连接轴(63)通过第二轴承转动连接。

7.根据权利要求6所述的立式热处理设备,其特征在于,所述门框(2)的所述第一侧边设有第二连接轴,所述密封门(1)上设有第三连接轴;

所述第一连杆(61)的所述一端通过第三轴承转动连接于所述第二连接轴;所述第二连杆的所述一端通过第四轴承转动连接于所述第三连接轴。

8.根据权利要求7所述的立式热处理设备,其特征在于,所述第一轴承(64)、所述第二轴承、所述第三轴承、所述第四轴承通过密封组件密封。

9.根据权利要求8所述的立式热处理设备,其特征在于,所述密封组件包括密封盖(71)和密封垫(72),所述密封盖(71)包括盒体和连接于所述盒体的连接板,所述密封垫(72)设于所述轴承朝向外部的端面处,所述盒体罩设于所述密封垫(72)外部,所述连接板连接于所述第一连杆(61)或第二连杆(62)。

10.根据权利要求1所述的立式热处理设备,其特征在于,还包括炉体,所述设备主体(8)具有所述开口,且内部设有装载区,所述炉体设于所述装载区上方,所述门框(2)设于所述开口处,所述密封门(1)在所述驱动机构的驱动下沿所述导向件运动,以关闭或打开所述开口。

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