[实用新型]晶片固定装置和具有其的固晶机

权利要求书

1.一种晶片固定装置，其特征在于，包括：

固定台，所述固定台上设有定位孔；

固定组件，所述固定组件置于所述定位孔中，所述固定组件设有安装槽，所述安装槽用于放置晶圆环，所述固定组件包括凸缘，所述凸缘位于所述定位孔外；

限位组件，多个限位组件沿所述定位孔的周向设于所述固定台上，所述限位组件包括抵接于所述凸缘上方的上滑轮和抵接于所述凸缘下方的下滑轮，所述凸缘在所述上滑轮和所述下滑轮之间可滑动。

2.根据权利要求1所述的晶片固定装置，其特征在于，所述限位组件还包括：

限位板，所述限位板上设有至少一个沿所述限位板的宽度方向延伸的U型孔，所述上滑轮和所述下滑轮沿所述限位板的长度方向间隔设于所述限位板上，所述限位板通过穿设于所述U型孔中的紧固件卡设于所述固定台上。

3.根据权利要求2所述的晶片固定装置，其特征在于，以所述固定组件的中心轴线为基准，所述凸缘的下表面由内到外朝向上倾斜，以所述下滑轮的中心轴线为基准，所述下滑轮的上表面由内到外朝向下倾斜。

4.根据权利要求3所述的晶片固定装置，其特征在于，以所述固定组件的中心轴线为基准，所述凸缘的上表面由内到外朝向下倾斜，以所述上滑轮的中心轴线为基准，所述上滑轮的下表面由内到外朝向上倾斜。

5.根据权利要求4所述的晶片固定装置，其特征在于，所述限位板上设有第一转轴和第二转轴，所述第一转轴和所述第二转轴上均套设有滚动轴承，所述上滑轮套设于所述第一转轴上，所述下滑轮套设于所述第二转轴上。

6.根据权利要求1所述的晶片固定装置，其特征在于，所述固定组件包括：

固定环，所述凸缘设于所述固定环的外周壁上，所述固定环的内壁沿周向设有朝向所述固定环内延伸的翻边和与所述翻边间隔的限位槽，所述晶圆环放置于所述翻边上；

压环，所述压环放置于所述晶圆环上，所述压环沿周向设有限位台，所述限位台嵌于所述限位槽中。

7.根据权利要求6所述的晶片固定装置，其特征在于，所述固定环的外壁上还设有卡接槽，所述定位孔的上边沿嵌入所述卡接槽中。

8.根据权利要求6所述的晶片固定装置，其特征在于，所述压环靠近所述晶圆环的一端设有挡边，所述挡边位于所述晶圆环的内侧。

9.根据权利要求6所述的晶片固定装置，其特征在于，所述固定组件还包括：垫圈，所述垫圈卡于所述压环和所述晶圆环之间。

10.一种固晶机，其特征在于，包括：

机座，所述机座上设有沿上下方向间隔设置的第一平移直线模组和第二平移直线模组；

载台组件，所述载台组件与位于下方的所述第二平移直线模组连接，所述载台组件包括载台，所述载台上设有多个真空吸口；

如权利要求1-9任一项所述的晶片固定装置，所述晶片固定装置与位于上方的所述第一平移直线模组连接，所述晶片固定装置包括固定台，所述固定台平行于所述载台，所述第一平移直线模组和所述第二平移直线模组在高度方向的距离可调。