[实用新型]晶片固定装置和具有其的固晶机有效
申请号: | 202122999112.0 | 申请日: | 2021-11-30 |
公开(公告)号: | CN216311747U | 公开(公告)日: | 2022-04-15 |
发明(设计)人: | 陈平;曾逸 | 申请(专利权)人: | 深圳市卓兴半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/67;H01L33/00 |
代理公司: | 深圳智汇远见知识产权代理有限公司 44481 | 代理人: | 王旭 |
地址: | 518108 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶片 固定 装置 具有 固晶机 | ||
本申请涉及一种晶片固定装置和具有其的固晶机,所述晶片固定装置包括:固定台,固定台上设有定位孔;固定组件,固定组件置于定位孔中,固定组件设有安装槽,安装槽用于放置晶圆环,固定组件包括凸缘,凸缘位于定位孔外;限位组件,多个限位组件沿定位孔的周向设于固定台上,限位组件包括抵接于凸缘上方的上滑轮和抵接于凸缘下方的下滑轮,凸缘在上滑轮和下滑轮之间可滑动。根据本实用新型的晶片固定装置,通过固定组件固定晶圆环,通过上滑轮与下滑轮将固定组件固定于固定台上的同时固定件可在上滑轮和下滑轮之间转动,从而实现在晶圆环安装好之后可以对晶圆环的圆周角度进行调节。
技术领域
本申请涉及晶片贴片技术领域,尤其涉及一种晶片固定装置和具有其的固晶机。
背景技术
在半导体技术领域,LED晶片在划片工艺完成后形成阵列排列的晶粒,阵列排列的晶粒贴附在晶片膜上,晶片膜上的晶粒排列非常紧密,不利于后续的固晶工序操作,因此在生产过程中通过扩晶环将晶片膜扩张,使得贴附在晶片膜上阵列排列的晶粒均匀扩张。固晶是将晶片固定于印刷电路板上(英文名称为:Printed Circuit Board,简称:PCB板)上,先在PCB板上需要键合晶片的位置点胶,晶片放置在薄膜支撑的晶片固定装置上,移动晶片固定装置至指定位置,通过机构将晶片从薄膜上剥离,键合在PCB板的对应位置上。晶片与PCB板平整对齐,则最终PCB板的成品率高,如此就对晶片与PCB板的水平度提出了很高的要求,由于很难保证焊头和整个PCB板的水平,因此很难满足对贴装平整度要求较高的产品。
实用新型内容
本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本实用新型提出一种晶片固定装置,所述晶片固定装置能够使卡于所述晶片固定装置上的晶圆环旋转来调整晶片膜的圆周角度。
根据本实用新型实施例的晶片固定装置,包括:固定台,固定台上设有定位孔;固定组件,固定组件置于定位孔中,固定组件设有安装槽,安装槽用于放置晶圆环,固定组件包括凸缘,凸缘位于定位孔外;限位组件,多个限位组件沿定位孔的周向设于固定台上,限位组件包括抵接于凸缘上方的上滑轮和抵接于凸缘下方的下滑轮,凸缘在上滑轮和下滑轮之间可滑动。
根据本实用新型实施例的晶片固定装置,通过固定组件固定晶圆环,通过上滑轮与下滑轮将固定组件固定于固定台上的同时固定件可在上滑轮和下滑轮之间转动,从而实现在晶圆环安装好之后可以对晶圆环的圆周角度进行调节。
根据本实用新型实施例的晶片固定装置,限位组件还包括:限位板,限位板上设有至少一个沿限位板的宽度方向延伸的U型孔,上滑轮和下滑轮沿限位板的长度方向间隔设于限位板上,限位板通过穿设于U型孔中的紧固件卡设于固定台上。在松开紧固件时,由于紧固件可在U型孔中移动,限位板可朝向靠近定位孔或者远离定位孔的方向移动,在将固定组件放入定位孔中前,可以朝向远离定位孔的方向移开限位板,在将固定组件放入定位孔中后,将限位板朝向靠近定位孔的方向移动限位板,从而将凸缘逐渐卡入上滑轮和下滑轮中。
可选地,以固定组件的中心轴线为基准,凸缘的下表面由内到外朝向上倾斜,以下滑轮的中心轴线为基准,下滑轮的上表面由内到外朝向下倾斜,如此能够增加凸缘与下滑轮之间的摩擦力,防止凸缘与下滑轮打滑以防止凸缘移动而下滑轮不转动而损伤固定组件,同时,由于下滑轮的上表面倾斜,使得上滑轮和下滑轮之间的间距沿凸缘由内到外的方向上减小,从而使得上滑轮和下滑轮在水平方向上也能够对凸缘进行限位,另外,通过调节限位板与定位孔之间的距离,能够调节上滑轮和下滑轮与定位孔之间的距离,由于上滑轮和下滑轮之间的间距沿凸缘由内到外的方向上减小,凸缘越靠近所述限位板,凸缘在水平方向上的高度越高,从而通过调节多个限位板与固定组件之间的距离,达到从多个方向上可以对固定组件的高度进行微调,从而保障晶圆环中的晶片膜能够与固定台平行。通过调节限位板的位置来调节固定环与固定台之间的水平度的方法,调节速度更快,调整后的精度和稳定性更高。
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