[实用新型]一种钝化接触的背接触太阳能电池

权利要求书

1.一种钝化接触的背接触太阳能电池，包括硅基体(10)，其特征在于，所述硅基体(10)的背表面上依次设置有第一隧穿钝化层(20)、掺杂膜层(30)以及覆盖在所述掺杂膜层(30)上的背面介质膜层(40)；

其中，所述掺杂膜层(30)包括第一型掺杂膜层(31)和第二型掺杂膜层(32)，所述第一型掺杂膜层(31)设置在所述第一隧穿钝化层(20)上，所述第一型掺杂膜层(31)的表面上开设有多个间隔设置的凹槽(310)，所述凹槽(310)的内表面覆设有第二隧穿钝化层(21)，每一所述凹槽(310)中设置有一个所述第二型掺杂膜层(32)。

2.根据权利要求1所述的背接触太阳能电池，其特征在于，所述第一型掺杂膜层(31)为n型掺杂膜层，所述第二型掺杂膜层(32)为p型掺杂膜层；或者是，所述第一型掺杂膜层(31)为p型掺杂膜层，所述第二型掺杂膜层(32)为n型掺杂膜层。

3.根据权利要求2所述的背接触太阳能电池，其特征在于，所述第一型掺杂膜层(31)为第一型掺杂的多晶硅或非晶硅，所述第二型掺杂膜层(32)为第二型掺杂的多晶硅或非晶硅。

4.根据权利要求1所述的背接触太阳能电池，其特征在于，所述第一隧穿钝化层(20)和所述第二隧穿钝化层(21)的分别为氧化硅层或本征非晶硅层。

5.根据权利要求1所述的背接触太阳能电池，其特征在于，所述背面介质膜层(40)包括表面钝化层(41)和背面减反钝化层(42)，所述表面钝化层(41)覆盖在所述掺杂膜层(30)上，所述背面减反钝化层(42)覆盖在所述表面钝化层(41)上。

6.根据权利要求5所述的背接触太阳能电池，其特征在于，所述表面钝化层(41)为氧化硅层或氧化铝层，所述背面减反钝化层(42)为SiN_y:H膜层。

7.根据权利要求1所述的背接触太阳能电池，其特征在于，所述背接触太阳能电池还包括第一金属电极(51)和第二金属电极(52)，所述第一金属电极(51)穿过所述背面介质膜层(40)与所述第一型掺杂膜层(31)连接，所述第二金属电极(52)穿过所述背面介质膜层(40)与所述第二型掺杂膜层(32)连接。

8.根据权利要求1所述的背接触太阳能电池，其特征在于，所述背接触太阳能电池还包括在所述硅基体(10)的前表面上依次设置的钝化掺杂层(60)和前表面减反钝化层(70)。

9.根据权利要求8所述的背接触太阳能电池，其特征在于，所述钝化掺杂层(60)是在所述硅基体(10)的前表面上通过扩散工艺或离子注入工艺制备形成的掺杂层，所述前表面减反钝化层(70)为SiN_y:H膜层或氧化硅膜层与SiN_y:H膜层的叠层膜结构。

10.根据权利要求1-9任一所述的背接触太阳能电池，其特征在于，所述硅基体(10)的背表面上对应于每一所述凹槽(310)分别具有一凸起部(100)，所述凸起部(100)将所述第一型掺杂膜层(31)分割为多个相互间隔的第一型掺杂子膜层(311)，所述凸起部(100)的宽度小于所述凹槽(310)的宽度，使得所述第二型掺杂膜层(32)与两侧的所述第一型掺杂子膜层(311)具有相互层叠的部分。