[实用新型]一种芯片自动排列装置

权利要求书

1.一种芯片自动排列装置，其特征在于，包括，机座；

膜模组，其设于机座上，用于放置待转移的芯片；

像模组，其设于机座上，包括相机，用于扫描并辨识膜模组上待转移的芯片；

针模组，包括顶针，膜模组上待转移的芯片移动至针模组上方并经过像模组扫描辨识后，通过顶针撞击芯片使芯片转移至晶模组上；

晶模组，其设于机座上，承接来自膜模组的芯片并进行排列后转移至下一工序。

2.如权利要求1所述的一种芯片自动排列装置，其特征在于，所述针模组位于膜模组内；晶模组包括位于膜模组上方的负压吸取组件。

3.如权利要求2所述的一种芯片自动排列装置，其特征在于，所述像模组包括，支架，设于支架上的XY向移动件，设于XY向移动件上的Z向移动组件，设于Z向移动组件上的相机组件。

4.如权利要求3所述的一种芯片自动排列装置，其特征在于，所述支架包括，立架，上端与立架上端固定连接的斜支架，与斜支架、立架上端固定连接的横板，两块分别设于斜支架、立架下端的加强板。

5.如权利要求4所述的一种芯片自动排列装置，其特征在于，所述XY向移动件为XY轴手动滑台，其固定安装在横板上表面。

6.如权利要求5所述的一种芯片自动排列装置，其特征在于，所述Z向移动组件包括，固定安装在XY向移动件上的安装板，活动设于安装板上的Z轴滑台，上端与Z轴滑台活动连接的Z轴丝杆，设于安装板上的Z轴马达及Z轴轴承座，与Z轴马达的输出轴相连接的Z轴联轴器；Z轴丝杆的下端穿过Z轴轴承座与Z轴联轴器相连接；所述Z轴滑台与安装板通过与Z轴滑台背面相连接的Z轴交叉滚珠滑轨连接。

7.如权利要求6所述的一种芯片自动排列装置，其特征在于，所述相机组件包括，与Z轴滑台固定连接的相机底座，与相机底座相连接的光源支架，设于光源支架上的镜头及光源，设于相机底座上且与镜头上端相连接的相机；所述光源位于镜头下方。

8.如权利要求2所述的一种芯片自动排列装置，其特征在于，所述膜模组包括，机架，设于机架上的Y向移动组件，设于Y向移动组件的X向移动组件，设于X向移动组件上的R向转动组件。

9.如权利要求8所述的一种芯片自动排列装置，其特征在于，所述机架包括，机架底板，设于机架底板上的两块相互平行的机架立板。

10.如权利要求9所述的一种芯片自动排列装置，其特征在于，所述Y向移动组件包括，设于两块机架立板上表面且与二者固定连接的Y向底板，设于Y向底板上的两根相互平行的Y向滑轨，设于每根Y向滑轨上的Y向滑块，设于机架其中一侧面的Y向直线电机定子，与Y向直线电机定子活动连接的Y向直线电机动子，与Y向滑块及Y向直线电机动子相连接的XY轴板；所述XY轴板在Y向直线电机动子带动下在Y向滑轨上沿Y向直线运动。

11.如权利要求10所述的一种芯片自动排列装置，其特征在于，所述X向移动组件包括，设于XY轴板上表面内的两组X向滑块，两根相互平行且分别与两组X向滑块活动连接的X向滑轨，与两根X向滑轨相连接且位于二者上方的转动组件固定板，设于XY轴板其中一侧面的X向直线电机固定架，设于X向直线电机固定架上表面的X向直线电机定子，与X向直线电机定子活动连接的X向直线电机动子；所述X向直线电机动子与转动组件固定板其中一侧面相连接。

12.如权利要求11所述的一种芯片自动排列装置，其特征在于，所述R向转动组件包括，设于转动组件固定板上表面的转组底座，活动设于转组底座上的轴承，设于轴承内且与转组底座固定连接的轴承内环，套设于轴承上且与其联动的转组皮带轮，设于转组皮带轮上方且与其固定连接的转组环座，设于转组皮带轮外侧且用于驱动其相对转组底座转动的直线组件；放置芯片的蓝膜芯片盘放于转组环座上表面。