[实用新型]一种超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置

权利要求书

1.一种超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置，包括氢氟酸蒸馏设备主体（1）、出料阀（2）、控制阀（3）和导流管（4），其特征在于：所述导流管（4）外侧套设有弹性套（5），所述弹性套（5）外侧两端均固定连接套设有套环（7），两个所述套环（7）之间固定连接有吸水海绵（6），所述吸水海绵（6）套设于弹性套（5）外侧，所述吸水海绵（6）底部设置有收集箱（8），所述收集箱（8）底部设置有废水箱（12），所述收集箱（8）与废水箱（12）之间固定连接有竖管（11），所述废水箱（12）顶部设置有电动推杆（13）。

2.根据权利要求1所述的一种超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置，其特征在于：所述出料阀（2）固定连接于氢氟酸蒸馏设备主体（1）一侧，所述控制阀（3）设置于出料阀（2）一侧，所述导流管（4）固定连接于出料阀（2）与控制阀（3）之间，所述吸水海绵（6）和导流管（4）均设置于出料阀（2）和控制阀（3）之间，一个所述套环（7）与出料阀（2）固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置，其特征在于：所述收集箱（8）顶部靠近氢氟酸蒸馏设备主体（1）的两侧均固定连接有弧形板（9），所述弧形板（9）顶部两侧均固定连接后有挡板（10），所述挡板（10）一端延伸到收集箱（8）顶部，所述挡板（10）和弧形板（9）截面形状均设置为弧形，所述收集箱（8）固定连接于出料阀（2）和控制阀（3）底部。

4.根据权利要求1所述的一种超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置，其特征在于：所述竖管（11）顶部和底部分别延伸入收集箱（8）和废水箱（12）内部，所述竖管（11）与废水箱（12）固定连接，所述废水箱（12）固定连接于氢氟酸蒸馏设备主体（1）一侧，所述废水箱（12）一侧设置有出水阀。

5.根据权利要求1所述的一种超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置，其特征在于：所述废水箱（12）顶部靠近氢氟酸蒸馏设备主体（1）的一侧固定连接有安装板（15），所述电动推杆（13）一端贯穿安装板（15）并与安装板（15）固定连接，所述电动推杆（13）一端与远离氢氟酸蒸馏设备主体（1）的套环（7）之间固定连接有连接杆（14），所述连接杆（14）截面形状设置为L形。

6.根据权利要求1所述的一种超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置，其特征在于：所述废水箱（12）内腔顶部设置有移动板（16），所述移动板（16）外侧与废水箱（12）内腔侧壁相接触，所述移动板（16）底部固定连接有多个支撑弹簧（18），所述支撑弹簧（18）固定连接于废水箱（12）内部。

7.根据权利要求1所述的一种超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置，其特征在于：所述废水箱（12）一侧开设有多个圆槽（17），所述圆槽（17）一侧设置有侧管（20），所述侧管（20）固定连接于氢氟酸蒸馏设备主体（1）外侧，所述侧管（20）内部靠近废水箱（12）的一侧固定连接有弹性布（19），所述侧管（20）内部远离废水箱（12）的一侧固定连接有按钮（21），所述按钮（21）与电动推杆（13）电性连接。