[实用新型]一种超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置

说明书

本实用新型提供一种超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置，涉及电子级氢氟酸加工领域。该超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置，包括氢氟酸蒸馏设备主体、出料阀、控制阀和导流管，所述导流管外侧套设有弹性套，所述弹性套外侧两端均固定连接套设有套环，两个所述套环之间固定连接有吸水海绵。该超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置，减少导流管散发出的热量所冷凝出的水珠与导流管的接触，并且通过吸水海绵将水珠吸收，避免导流管外侧附着有与空气中杂质混合了的水，减缓导流管腐蚀锈蚀损坏的速度，保证导流管工作寿命，减少氢氟酸蒸馏设备主体加工提纯电子级氢氟酸的成本投入，减少污水对氢氟酸蒸馏设备主体、导流管和环境的污染。

技术领域

本实用新型涉及一种提纯装置，具体为一种超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置，属于电子级氢氟酸加工技术领域。

背景技术

氢氟酸是氟化氢气体的水溶液，是清澈、无色、发烟的腐蚀性液体，有剧烈刺激性气味，由于氢氟酸溶解氧化物的能力，它在铝和铀的提纯中起着重要作用，氢氟酸也用来蚀刻玻璃，可以雕刻图案、标注刻度和文字，半导体工业使用它来除去硅表面的氧化物，在电子级氢氟酸广泛应用于电子领域，其纯度要求非常高。

大部分企业在提纯电子级氢氟酸的过程中，都会加入强氧化剂将三价态砷氧化变为不挥发的五价砷，结合蒸馏和冷凝加工，可使其在精馏过程中富集于塔釜中而被除去。

电子级氢氟酸在提纯过程之中，需要在蒸馏塔和冷凝塔之间进行移动，尤其是电子级氢氟酸从蒸馏塔的管道进入冷凝塔内部时，由于管道还要起到散热作用，导致管道内外温差较大，会使管道外侧出现很多水珠，这些水珠与空气中杂质混合后，不但使管道外表被弄脏，还会使对管道进行腐蚀锈蚀，严重的缩短了管道的使用寿命，一定程度上来说增加了电子级氢氟酸加工的成本。

实用新型内容

（一）解决的技术问题

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置，以解决现有技术中管道内外温差较大，会使管道外侧出现很多水珠，这些水珠与空气中杂质混合后，不但使管道外表被弄脏，还会使对管道进行腐蚀锈蚀，严重的缩短了管道的使用寿命的问题。

（二）技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种超净高纯电子级氢氟酸高效提纯装置，包括氢氟酸蒸馏设备主体、出料阀、控制阀和导流管，所述导流管外侧套设有弹性套，所述弹性套外侧两端均固定连接套设有套环，两个所述套环之间固定连接有吸水海绵，所述吸水海绵套设于弹性套外侧，所述吸水海绵底部设置有收集箱，所述收集箱底部设置有废水箱，所述收集箱与废水箱之间固定连接有竖管，所述废水箱顶部设置有电动推杆。

优选地，所述出料阀固定连接于氢氟酸蒸馏设备主体一侧，所述控制阀设置于出料阀一侧，所述导流管固定连接于出料阀与控制阀之间，所述吸水海绵和导流管均设置于出料阀和控制阀之间，一个所述套环与出料阀固定连接，在导流管外侧套设有吸水海绵，对导流管外侧形成的水珠进行吸收，避免水珠与空气中杂质混合，保证导流管的使用寿命。

优选地，所述收集箱顶部靠近氢氟酸蒸馏设备主体的两侧均固定连接有弧形板，所述弧形板顶部两侧均固定连接后有挡板，所述挡板一端延伸到收集箱顶部，所述挡板和弧形板截面形状均设置为弧形，所述收集箱固定连接于出料阀和控制阀底部，在收集箱靠近氢氟酸蒸馏设备主体的一侧安装有弧形板，对吸水海绵因为重力滴落的水珠进行收集，避免水珠落到收集箱外侧。

优选地，所述竖管顶部和底部分别延伸入收集箱和废水箱内部，所述竖管与废水箱固定连接，所述废水箱固定连接于氢氟酸蒸馏设备主体一侧，所述废水箱一侧设置有出水阀，在收集箱与废水箱之间安装有安装板，将收集箱内部的水流引导到废水箱内部，保证水流收集的效率。