[实用新型]一种斜交式离化源的镀膜腔有效
| 申请号： | 202123023547.8 | 申请日： | 2021-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN216378360U | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 李龙;李飞;李兰民 | 申请（专利权）人： | 遵化市超越钛金设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/52 |
| 代理公司： | 河北向往专利代理有限公司 13162 | 代理人： | 徐海涛 |
| 地址： | 064200*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 斜交式离化源 镀膜 | ||
1.一种斜交式离化源的镀膜腔，包括具有镀膜腔的壳体(1)及设置在所述壳体(1)上的抽气口(11)，还包括，
等离子靶源(3)，有若干个，均设置在所述壳体(1)上，
转动架(4)，有若干个，均转动设置在所述壳体(1)的镀膜腔内，其特征在于，所述等离子靶源(3)的输出端均向镀膜腔的中心偏移设置。
2.根据权利要求1所述的一种斜交式离化源的镀膜腔，其特征在于，所述等离子靶源(3)的输出端与水平面的夹角在0°～5°之间。
3.根据权利要求1所述的一种斜交式离化源的镀膜腔，其特征在于，所述壳体(1)具有开合区(12)和工作区(13)，所述开合区(12)的一侧具有第一开口(121)；还包括门体(5)，所述门体(5)铰接设置在所述壳体(1)上，用于遮挡所述第一开口(121)。
4.根据权利要求3所述的一种斜交式离化源的镀膜腔，其特征在于，所述等离子靶源(3)沿所述壳体(1)的工作区(13)弧面均匀设置组成离子源组(31)，若干组所述离子源组(31)沿所述壳体(1)竖直方向均匀设置。
5.根据权利要求1所述的一种斜交式离化源的镀膜腔，其特征在于，所述转动架(4)有若干个；还包括传动装置(6)，设置在所述壳体(1)上，所述传动装置(6)包括，
驱动轴(61)，所述驱动轴(61)穿过所述壳体(1)，所述驱动轴(61)转动设置在所述壳体(1)上，
第一齿轮(62)，所述第一齿轮(62)设置在所述驱动轴(61)上，位于所述驱动轴(61)镀膜腔内的一端，
第二齿轮(63)，有若干个，所述第二齿轮(63)均与所述第一齿轮(62)啮合，若干个所述第二齿轮(63)分别与若干个所述转动架(4)连接。
6.根据权利要求5所述的一种斜交式离化源的镀膜腔，其特征在于，所述传动装置(6)还包括，
第三齿轮(64)，所述第三齿轮(64)设置在所述驱动轴(61)上，所述第三齿轮(64)位于所述驱动轴(61)镀膜腔外的一端，
减速机(65)，所述减速机(65)的输出端与所述第三齿轮(64)啮合，
驱动电机(66)，所述驱动电机(66)设置在所述壳体(1)上，所述驱动电机(66)的输出端与所述减速机(65)的输入端连接，所述驱动电机(66)通过所述减速机(65)驱动所述第三齿轮(64)转动。
7.根据权利要求3所述的一种斜交式离化源的镀膜腔，其特征在于，所述门体(5)上具有视镜(14)，所述视镜(14)用于观察镀膜腔内部。
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