[实用新型]一种用于单片非圆形基板边缘清洗的机构有效
| 申请号： | 202123035379.4 | 申请日： | 2021-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN217181401U | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 张杨 | 申请（专利权）人： | 沈阳晶睿自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 孙婷婷 |
| 地址： | 110000 辽宁省沈阳市*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 单片 圆形 边缘 清洗 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于单片非圆形基板边缘清洗的机构，其特征在于，包括：
水平移动臂（2），所述水平移动臂（2）的一侧设置有伸缩臂旋转机构（5），所述伸缩臂旋转机构（5）的顶部设置有伸缩臂（3）；
真空吸盘（1），所述真空吸盘（1）的一侧设置有电机；
组合喷嘴（4），所述组合喷嘴（4）的一侧设置有N2喷嘴（6），所述组合喷嘴（4）的一侧且在N2喷嘴（6）的其中一侧设置有去边剂喷嘴（7）。
2.根据权利要求1所述的一种用于单片非圆形基板边缘清洗的机构，其特征在于：所述伸缩臂（3）的一侧滑动连接有滑块，所述滑块的一端安装在组合喷嘴（4）的一侧。
3.根据权利要求1所述的一种用于单片非圆形基板边缘清洗的机构，其特征在于：所述真空吸盘（1）在伸缩臂（3）的一侧且位于水平移动臂（2）的上方。
4.根据权利要求1所述的一种用于单片非圆形基板边缘清洗的机构，其特征在于：所述真空吸盘（1）的一侧设置有圆形晶圆（8）。
5.根据权利要求1所述的一种用于单片非圆形基板边缘清洗的机构，其特征在于：所述真空吸盘（1）的一侧设置有方形基板（9）。
6.根据权利要求1所述的一种用于单片非圆形基板边缘清洗的机构，其特征在于：所述真空吸盘（1）的一侧且位于水平移动臂（2）的上方设置有带平边的晶圆（10）。
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