[实用新型]一种晶圆盒在线检测装置

权利要求书

1.一种晶圆盒在线检测装置，其特征在于：包括基座、设置在所述基座上的支撑架，以及设置在所述支撑架上的称重组件，所述称重组件具有用于支撑晶圆盒的支撑面，所述称重组件包括设于所述支撑面下方的称重传感器，所述称重传感器具有分设于所述支撑架第一方向相异两侧的两组，所述第一方向沿水平方向延伸，所述支撑架上还设有用于为所述晶圆盒提供定位并使得所述晶圆盒位于预设位置的定位组件，所述定位组件包括用于判断所述晶圆盒是否位于所述预设位置的光电传感器，所述光电传感器的上表面低于所述支撑面，且所述光电传感器沿所述第一方向位于两组所述称重传感器之间。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒在线检测装置，其特征在于：所述检测装置还包括控制系统，所述控制系统与两组所述称重传感器及所述光电传感器分别信号连接。

3.根据权利要求2所述的晶圆盒在线检测装置，其特征在于：所述检测装置还包括用于发出报警信号的报警机构，所述控制系统与所述报警机构信号连接。

4.根据权利要求1所述的晶圆盒在线检测装置，其特征在于：两组所述称重传感器在第二方向上错位设置，所述第二方向沿水平方向延伸且与所述第一方向相交。

5.根据权利要求4所述的晶圆盒在线检测装置，其特征在于：当所述晶圆盒位于所述预设位置时，所述第一方向为所述晶圆盒的左右方向，所述第二方向为所述晶圆盒的前后方向。

6.根据权利要求1所述的晶圆盒在线检测装置，其特征在于：所述晶圆盒上具有间隔设置的至少两个定位孔，所述定位组件包括能够配合插入所述定位孔中的两个定位销，每个所述定位销自所述支撑面向上延伸。

7.根据权利要求1所述的晶圆盒在线检测装置，其特征在于：所述称重组件包括安装板及保护罩，所述安装板及所述保护罩分别具有分设于所述支撑架两侧的两组，每组所述安装板上均固设有一组所述称重传感器，每组所述保护罩均具有开口向下的容纳腔，每组所述称重传感器相应设置在同侧的所述容纳腔中，所述保护罩的上表面构成所述支撑面。

8.根据权利要求1所述的晶圆盒在线检测装置，其特征在于：所述支撑架包括支架杆及支撑台，所述支撑台位于所述基座的上方，所述支架杆沿上下方向连接在所述支撑台与所述基座之间，所述称重组件及所述定位组件均固设于所述支撑台上。

9.根据权利要求8所述的晶圆盒在线检测装置，其特征在于：所述支撑台包括上下间隔设置的上支撑台与下支撑台，所述上支撑台位于所述下支撑台的上方，所述光电传感器设置在所述上支撑台上，所述称重组件设置在所述下支撑台上，所述上支撑台具有分设于所述第一方向相异两侧的侧台及沿所述第一方向连接在两组所述侧台之间的连台，两组所述侧台与所述连台围设形成一工作空间。

10.根据权利要求1至9任一项所述的晶圆盒在线检测装置，其特征在于：所述检测装置还包括控制系统及用于传输所述晶圆盒的传输机构，所述控制系统与所述传输机构信号连接；和/或，所述晶圆盒为前开式晶圆传送盒。