[实用新型]一种多晶材料合成装置

权利要求书

1.一种多晶材料合成装置，其特征在于：包括炉体(1)、坩埚(2)和支撑组件(3)，还包括驱动所述炉体(1)进行旋转的摇摆机构(7)以及对所述坩埚(2)内原料进行混匀的搅拌机构(14)，所述搅拌机构(14)包括第三转轴(16)、设置在所述第三转轴(16)顶端转动的搅拌叶(17)以及驱动所述第三转轴(16)转动的电机(15)，所述支撑组件(3)包括第一支撑板(4)、第二支撑板(5)。

2.根据权利要求1所述的一种多晶材料合成装置，其特征在于：所述支撑组件(3)还包括安装所述第一支撑板(4)和第二支撑板(5)的底板(6)。

3.根据权利要求1所述的一种多晶材料合成装置，其特征在于：所述摇摆机构(7)包括第一转轴(10)、第二转轴(11)、减速箱(9)和设置在所述减速箱(9)输入端的伺服电机(8)。

4.根据权利要求3所述的一种多晶材料合成装置，其特征在于：所述第一转轴(10)的一端固定连接在所述减速箱(9)的输出端，所述第一转轴(10)的另一端和所述炉体(1)固定连接。

5.根据权利要求3所述的一种多晶材料合成装置，其特征在于：所述第二转轴(11)的一端转动连接在所述第二支撑板(5)内侧壁上，所述第二转轴(11)的另一端和所述炉体(1)固定连接。

6.根据权利要求3所述的一种多晶材料合成装置，其特征在于：所述第二转轴(11)和所述第二支撑板(5)连接处设置有支撑座(12)，所述支撑座(12)内设置有轴承(13)。

7.根据权利要求1所述的一种多晶材料合成装置，其特征在于：所述电机(15)外侧设置有保护壳(18)。

8.根据权利要求1所述的一种多晶材料合成装置，其特征在于：所述坩埚(2)材质为钼、钨或钼钨合金的耐高温材料。

9.根据权利要求1所述的一种多晶材料合成装置，其特征在于：所述搅拌叶(17)以及第三转轴(16)的材质均为钼、钨或钼钨合金的耐高温材料。

10.根据权利要求1所述的一种多晶材料合成装置，其特征在于：所述炉体(1)的形状为长方体。