[实用新型]一种多晶材料合成装置有效
申请号: | 202123056579.8 | 申请日: | 2021-12-07 |
公开(公告)号: | CN217016630U | 公开(公告)日: | 2022-07-22 |
发明(设计)人: | 李新华;金敏;靳光玉 | 申请(专利权)人: | 常州瞻驰光电科技股份有限公司 |
主分类号: | B01J19/28 | 分类号: | B01J19/28 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 213000 江苏省常州市西太*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 材料 合成 装置 | ||
本实用新型公开了一种多晶材料合成装置,属于晶体制备设备技术领域,该一种多晶材料合成装置,包括炉体、坩埚和支撑组件,还包括驱动所述炉体进行旋转的摇摆机构以及对所述坩埚内原料进行混匀的搅拌机构,所述搅拌机构包括第三转轴、设置在所述第三转轴转动的搅拌叶以及驱动所述第三转轴转动的电机。通过摇摆机构带动炉体进行转动,从而促使坩埚中的原料能够充分反应,提高反应的质量,通过电机带动第三转轴转动,进而带动第三转轴上的搅拌叶转动,通过搅拌叶的转动,能够保证坩埚中没有原料的残留与偏析,同时能够将炉体中的气泡排出,进一步提高反应的质量,进而提高所获得晶体的质量。
技术领域
本实用新型属于晶体制造设备技术领域,具体涉及一种多晶材料合成装置。
背景技术
光学蒸镀材料是制备光学薄膜的关键性材料。光学薄膜是一类重要的光学元件,它广泛地应用于现代光学、光电子学、光学工程以及其他相关的科学技术领域,光学薄膜可分光透射,分光反射,分光吸收以及改变光的偏振状态或相位,用作各种反射膜,增透膜和干涉滤光片,它们赋予光学元件各种使用性能,对光学仪器的质量起着重要或决定性的作用。在品种繁多的光学膜料中,五氧化三钛晶体因在可见光和近红外光谱范围内具有很高的折射率、良好的稳定性和牢固性而受到市场极大欢迎。
现有的五氧化三钛晶体制备过程中原料之间的混合大多不充分,存在原料的残留与偏析,影响反应质量,进而影响生成晶体的质量。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种多晶材料合成装置,以解决上述背景技术中提出现有的合成装置在使用过程中的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种多晶材料合成装置,包括炉体、坩埚和支撑组件,还包括驱动所述炉体进行旋转的摇摆机构以及对所述坩埚内原料进行混匀的搅拌机构,所述搅拌机构包括第三转轴、设置在所述第三转轴转动的搅拌叶以及驱动所述第三转轴转动的电机,所述支撑组件包括第一支撑板、第二支撑板。
优选的,所述支撑组件还包括安装所述第一支撑板和第二支撑板的底板。
优选的,所述摇摆机构包括第一转轴、第二转轴、减速箱和设置在所述减速箱输入端的伺服电机。
优选的,所述第一转轴的一端固定连接在所述减速箱的输出端,所述第一转轴的另一端和所述炉体固定连接。
优选的,所述第二转轴的一端转动连接在所述第二支撑板内侧壁上,所述第二转轴的另一端和所述炉体固定连接。
优选的,所述第二转轴和所述第二支撑板连接处设置有支撑座其所述支撑座内设置有轴承。
优选的,所述电机外侧设置有保护壳。
优选的,所述坩埚材质为钼、钨或钼钨合金的耐高温材料。
优选的,所述搅拌叶以及第三转轴的材质均为钼、钨或钼钨合金的耐高温材料。
优选的,所述炉体的形状为长方体。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
通过摇摆机构带动炉体进行转动,从而促使坩埚中的原料能够充分反应,提高反应的质量,通过电机带动第三转轴转动,进而带动第三转轴上的搅拌叶转动,通过搅拌叶的转动,能够保证坩埚中没有原料的残留与偏析,同时能够将炉体中的气泡排出,进一步提高反应的质量,进而提高所获得晶体的质量。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图;
图2为本实用新型的支撑座内部结构示意图;
图3为本实用新型的炉体内部结构示意图;
图4为本实用新型的减速箱处结构示意图。
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