[实用新型]一种用于光刻领域的载板超精密加工装置有效
| 申请号： | 202123066720.2 | 申请日： | 2021-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN216504032U | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 程俢夫;金超 | 申请（专利权）人： | 合肥市修夫精密机电有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/08 | 分类号： | B24B9/08;B24B21/00;B24B21/18;B24B47/22;B24B55/08 |
| 代理公司： | 安徽盛世金成知识产权代理事务所(普通合伙) 34196 | 代理人： | 彭倩 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市高新区潜*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 领域 载板超 精密 加工 装置 | ||
1.一种用于光刻领域的载板超精密加工装置，包括底板(1)和打磨机构(2)，其特征在于：所述底板(1)安装在已有超精密加工机床上，所述底板(1)的上端设置有打磨机构(2)；
所述打磨机构(2)包括固定模块(20)、支撑杆(21)、安装板(22)、转动轴(23)、打磨带(24)和电机(25)，所述固定模块(20)设置在所述底板(1)的上端，所述底板(1)的上端前后对称设置有支撑杆(21)，所述固定模块(20)位于两个所述支撑杆(21)之间，所述支撑杆(21)的上端固定连接有安装板(22)，所述安装板(22)的左右两端均转动连接有转动轴(23)，所述转动轴(23)的外壁安装有带轮，两个所述带轮之间套设有打磨带(24)，位于所述安装板(22)右端的转动轴(23)的下端安装有电机(25)，所述电机(25)通过电机座与所述安装板(22)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于光刻领域的载板超精密加工装置，其特征在于：所述固定模块(20)包括液压柱(201)、匚型板(202)、匚型架(203)、气缸(204)、联动板(205)、倒T型板(206)和真空吸盘(207)，所述液压柱(201)安装在所述底板(1)的上端，所述液压柱(201)的上端安装有开口朝上的匚型板(202)，所述匚型板(202)的左右两端之间安装有开口朝下的匚型架(203)，所述匚型架(203)上安装有气缸(204)，所述气缸(204)的下端安装有联动板(205)，所述联动板(205)的下端均匀安装有三个倒T型板(206)，所述倒T型板(206)的下端从前往后均匀安装有若干真空吸盘(207)。
3.根据权利要求1所述的一种用于光刻领域的载板超精密加工装置，其特征在于：所述底板(1)的上端前后对称开设有限位槽(11)，所述限位槽(11)内转动连接有螺纹杆(12)，所述螺纹杆(12)的一端安装有旋钮(121)，所述旋钮(121)位于所述底板(1)的外侧，且螺纹杆(12)的外壁与所述支撑杆(21)的下端之间螺纹配合。
4.根据权利要求2所述的一种用于光刻领域的载板超精密加工装置，其特征在于：所述打磨带(24)远离所述匚型板(202)的一端均匀粘贴有若干刷毛。
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