[实用新型]一种用于光刻领域的载板超精密加工装置

说明书

本申请涉及一种用于光刻领域的载板超精密加工装置，其包括底板和打磨机构，所述底板安装在已有超精密加工机床上，所述底板的上端设置有打磨机构；本方案通过电机带动转动轴旋转，转动轴带动打磨带同步旋转运动，从而实现对载板的断口面进行打磨的功能，进而达到去除毛刺的效果，通过设置两组打磨带可实现对载板的两端断口处进行同时打磨的功能，提高了打磨效率，且通过打磨带的循环打磨方式可增强打磨效果。

技术领域

本申请涉及载板的技术领域，尤其是涉及一种用于光刻领域的载板超精密加工装置。

背景技术

载板指薄层色谱中负载固定相薄层的平面介质，一般为玻璃板、金属板或塑料板，而用于光刻领域的载板主要是用以承载晶圆，故大部分是塑料或者玻璃材质，而用于光刻领域的载板载板一般都是在超精密加工机床上进行加工成型的。

但是，载板在超精密加工成型过程中需要将其裁剪成合适的尺寸大小，而裁剪后的载板的断口面会有一些毛刺，尤其是玻璃材质的载板，若不对毛刺进行处理，则会影响搬运等。因此，本领域技术人员提供了一种用于光刻领域的载板超精密加工装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

实用新型内容

为了解决上述背景技术中提出的问题，本申请提供一种用于光刻领域的载板超精密加工装置。

本申请提供的一种用于光刻领域的载板超精密加工装置采用如下的技术方案：

一种用于光刻领域的载板超精密加工装置，包括底板和打磨机构，所述底板安装在已有超精密加工机床上，所述底板的上端设置有打磨机构。

所述打磨机构包括固定模块、支撑杆、安装板、转动轴、打磨带和电机，所述固定模块设置在所述底板的上端，所述底板的上端前后对称设置有支撑杆，所述固定模块位于两个所述支撑杆之间，所述支撑杆的上端固定连接有安装板，所述安装板的左右两端均转动连接有转动轴，所述转动轴的外壁安装有带轮，两个所述带轮之间套设有打磨带，位于所述安装板右端的转动轴的下端安装有电机，所述电机通过电机座与所述安装板固定连接。

通过采用上述技术方案，可通过人工方式将裁切好的载板放置到固定模块上进行固定，并使得载板的断口面与打磨带接触，然后启动电机，通过电机带动转动轴旋转，转动轴带动打磨带同步旋转运动，从而实现对载板的断口面进行打磨，通过设置两组打磨带可实现对载板的两端断口处进行同时打磨的功能，提高了打磨效率，且通过打磨带的循环打磨方式可增强打磨效果。

优选的，所述固定模块包括液压柱、匚型板、匚型架、气缸、联动板、倒T型板和真空吸盘，所述液压柱安装在所述底板的上端，所述液压柱的上端安装有开口朝上的匚型板，所述匚型板的左右两端之间安装有开口朝下的匚型架，所述匚型架上安装有气缸，所述气缸的下端安装有联动板，所述联动板的下端均匀安装有三个倒T型板，所述倒T型板的下端从前往后均匀安装有若干真空吸盘，液压柱可实现匚型板的升降功能，从而认可便于取放载板。

通过采用上述技术方案，当载板被放置到匚型板上后，可通过气缸带动联动板下降，联动板带动倒T型板同步下降，倒T型板带动真空吸盘向下同步运动，使得真空吸盘与载板的上端面接触，并通过真空吸盘对其进行吸附，从而实现了对载板进行固定的功能，且通过气缸的伸缩长度可实现该固定模块对不同厚度的载板进行固定。

优选的，所述底板的上端前后对称开设有限位槽，所述限位槽内转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的一端安装有旋钮，所述旋钮位于所述底板的外侧，且螺纹杆的外壁与所述支撑杆的下端之间螺纹配合。

通过采用上述技术方案，可通过人工方式旋转旋钮，使得旋钮带动螺纹杆旋转，螺纹杆带动支撑杆做直线运动，从而可实现对打磨带与载板之间的间距进行调节的功能，进而实现对载板进行精细打磨，另外还可对不同尺寸的载板进行打磨，提高了该装置的实用性。

优选的，所述打磨带远离所述匚型板的一端均匀粘贴有若干刷毛。