[实用新型]一种用于光刻机的压紧装置

权利要求书

1.一种用于光刻机的压紧装置，其特征在于，包括压边升降机构、水平位移机构、压边滚轮和滚轮定位机构，所述水平位移机构设于所述压边升降机构之间，并与所述压边升降机构连接，所述水平位移机构可带动压边升降机构水平位移，所述压边升降机构可带动所述水平位移机构做升降运动，所述压边滚轮与所述滚轮定位机构连接，所述滚轮定位机构设于所述压边升降机构底部，并与所述压边升降机构连接，所述压边升降机构可带动所述滚轮定位机构做升降运动；

所述压边升降机构包括升降气缸和升降座，所述升降气缸设于所述升降座顶侧，所述升降气缸与所述升降座连接，所述升降气缸可驱动所述升降座做升降运动；

所述水平位移机构包括位移马达和位移丝杆，所述位移丝杆设于所述位移马达输出端，并与位移马达连接，所述位移马达可驱动所述位移丝杆水平移动；

所述滚轮定位机构包括滚轮定位支架和滚轮定位座，所述压边滚轮连接于所述滚轮定位支架上，所述滚轮定位支架设于所述滚轮定位座上，并与所述滚轮定位座连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的压紧装置，其特征在于，所述压边升降机构设有两个，分别设于所述滚轮定位座的两端，并与所述滚轮定位座固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的压紧装置，其特征在于，所述压边升降机构还包括气缸固定块、升降滑轨和升降滑块，所述气缸固定块、升降滑轨、升降滑块依次设置、连接，所述气缸固定块底部与所述水平位移机构固定连接，所述升降气缸连接于所述气缸固定块的顶部，所述升降滑轨固定连接于所述气缸固定块侧面，所述升降滑块可滑动地连接于所述升降滑轨上，所述升降滑块与所述升降座固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的压紧装置，其特征在于，所述滚轮定位座设于所述升降座之间，所述滚轮定位座端部与所述升降座固定连接。

5.根据权利要求3所述的一种用于光刻机的压紧装置，其特征在于，所述水平位移机构还包括马达定位座、位移组件、位移板和马达驱动座，所述马达定位座、位移组件、位移板从上至下依次设置、连接，所述位移马达固定于所述马达定位座上；所述位移组件包括位移固定座、位移滑轨和位移滑块，所述位移固定座固定于所述马达定位座底侧，所述位移滑轨固定于所述位移固定座底侧，所述位移滑块可滑动地连接于所述位移滑轨上，所述位移板固定于所述位移滑块底侧，所述马达驱动座固定于所述位移丝杆一端，并与所述位移板顶部固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种用于光刻机的压紧装置，其特征在于，所述位移组件设有两个，两个位移组件均固定地设于所述位移板上。

7.根据权利要求5所述的一种用于光刻机的压紧装置，其特征在于，所述位移板设于所述气缸固定块之间，所述位移板的端部与所述气缸固定块固定连接。

8.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的压紧装置，其特征在于，所述滚轮定位支架设有两个，均与所述滚轮定位座固定连接，每个滚轮定位支架上连接有两个压边滚轮。

9.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的压紧装置，其特征在于，所述滚轮定位座上设有支架容纳槽和滚轮让位孔，所述滚轮定位支架安装于所述支架容纳槽内，所述压边滚轮顶部设于所述滚轮让位孔内。