[实用新型]一种用于光刻机的压紧装置

说明书

本实用新型公开了一种用于光刻机的压紧装置，涉及光刻机技术领域，包括压边升降机构、水平位移机构、压边滚轮和滚轮定位机构，水平位移机构可带动压边升降机构水平位移，压边升降机构可带动水平位移机构和滚轮定位机构做升降运动；压边升降机构包括升降气缸和升降座，升降气缸可驱动升降座做升降运动；水平位移机构包括位移马达和位移丝杆，位移马达可驱动位移丝杆水平移动；滚轮定位机构包括滚轮定位支架和滚轮定位座。本实用新型压紧装置的压边升降机构和水平位移机构联动工作，使滚轮定位座和压边滚轮能够做升降、水平运动，压边滚轮能够将PCB在竖直方向压平，保证PCB的稳定性，从而能够保证光刻加工的质量。

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，具体是一种用于光刻机的压紧装置。

背景技术

光刻机称为掩膜对准曝光机，常用的光刻机是采用掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等多道工序，高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机这两种，分辨率通常在七纳米至几微米之间。

PCB中文名称是印制电路板，又称为印刷线路板，是非常重要的电子部件，是电子元器件的支撑体，也是是电子元器件电气连接的载体。几乎每种电子设备，小到电子手表、计算器、遥控器，大到计算机、通信电子设备、机床、军用武器系统，只要有集成电路等电子元件，为了使各个元件之间的电气互连，都要使用印制板，由于它是采用电子印刷术制作的，故被称为“印刷”电路板。

现有技术中，光刻机吸盘是光刻机的重要组成部分。吸盘的大小、平面度、吸附方式和吸附力大小等因素对PCB制版的实际生产制造有着重要影响。现有的光刻机吸盘吸附比较薄的PCB时，尚且能将PCB吸附平整，具有一定的稳定性。但是当PCB比较厚时，由于吸盘的吸附力不够，不足以使得PCB吸附平整，无法保证PCB的稳定性，PCB的位置容易发生松动偏移，从而不能保证光刻加工的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于光刻机的压紧装置，具有压边滚轮能够将PCB在竖直方向压平，保证PCB的稳定性，能够保证光刻加工的质量的有益效果，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于光刻机的压紧装置，包括压边升降机构、水平位移机构、压边滚轮和滚轮定位机构，所述水平位移机构设于所述压边升降机构之间，并与所述压边升降机构连接，所述水平位移机构可带动压边升降机构水平位移，所述压边升降机构可带动所述水平位移机构做升降运动，所述压边滚轮与所述滚轮定位机构连接，所述滚轮定位机构设于所述压边升降机构底部，并与所述压边升降机构连接，所述压边升降机构可带动所述滚轮定位机构做升降运动；

所述压边升降机构包括升降气缸和升降座，所述升降气缸设于所述升降座顶侧，所述升降气缸与所述升降座连接，所述升降气缸可驱动所述升降座做升降运动；

所述水平位移机构包括位移马达和位移丝杆，所述位移丝杆设于所述位移马达输出端，并与位移马达连接，所述位移马达可驱动所述位移丝杆水平移动；

所述滚轮定位机构包括滚轮定位支架和滚轮定位座，所述压边滚轮连接于所述滚轮定位支架上，所述滚轮定位支架设于所述滚轮定位座上，并与所述滚轮定位座连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述压边升降机构设有两个，分别设于所述滚轮定位座的两端，并与所述滚轮定位座固定连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述压边升降机构还包括气缸固定块、升降滑轨和升降滑块，所述气缸固定块、升降滑轨、升降滑块依次设置、连接，所述气缸固定块底部与所述水平位移机构固定连接，所述升降气缸连接于所述气缸固定块的顶部，所述升降滑轨固定连接于所述气缸固定块侧面，所述升降滑块可滑动地连接于所述升降滑轨上，所述升降滑块与所述升降座固定连接。