[实用新型]一种用于晶圆加工的晶圆清洗机

权利要求书

1.一种用于晶圆加工的晶圆清洗机，包括箱壳(1)和位于箱壳(1)顶部的翻盖(2)，其特征在于，所述箱壳(1)的内腔前后两侧壁均转动连接有直杆(3)，两个所述直杆(3)之间固定连接有晶圆固定件(4)，所述箱壳(1)上设置有与背面所述直杆(3)传动连接的动力件(5)，所述箱壳(1)的内部转动连接有位于晶圆固定件(4)左侧的横管(6)，所述横管(6)的右端连通有短管(7)，所述短管(7)的右侧连通有等距离分布的喷头(8)，所述横管(6)上设置有与动力件(5)传动连接的传动件(9)，所述短管(7)的左端固定连接有位于箱壳(1)左侧的旋转接头(10)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆加工的晶圆清洗机，其特征在于，所述箱壳(1)和翻盖(2)的背面通过合页铰接，所述直杆(3)呈前后对称分布。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆加工的晶圆清洗机，其特征在于，所述晶圆固定件(4)包括与两个所述直杆(3)相对一端固定连接的环块(41)，所述环块(41)的顶部通过环形分布的螺栓(42)固定连接有压环(43)。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆加工的晶圆清洗机，其特征在于，所述动力件(5)包括与箱壳(1)背面固定连接的电机(51)，所述电机(51)的输出端固定连接有转轴(52)，所述转轴(52)的外侧套接有主齿轮(53)，所述转轴(52)和背面所述直杆(3)的外侧均套接有第一带轮(54)，两个所述第一带轮(54)之间通过第一传动带(55)传动连接。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆加工的晶圆清洗机，其特征在于，所述短管(7)的前后两端均为封口状，所述横管(6)和短管(7)相互垂直。

6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆加工的晶圆清洗机，其特征在于，所述传动件(9)包括与箱壳(1)内腔左侧壁转动连接的圆轴(91)，所述圆轴(91)的外侧套接有与主齿轮(53)啮合的副齿轮(92)，所述圆轴(91)的外侧和转轴(52)的外侧均套接有第二带轮(93)，两个所述第二带轮(93)之间通过第二传动带(94)传动连接。

7.根据权利要求6所述的一种用于晶圆加工的晶圆清洗机，其特征在于，所述横管(6)的外侧套接有与箱壳(1)内部固定连接的轴承，所述圆轴(91)和转轴(52)相互垂直。