[实用新型]一种高功率器件硅片扩散用磷片生产装置有效

专利信息
申请号: 202123107330.5 申请日: 2021-12-10
公开(公告)号: CN216354071U 公开(公告)日: 2022-04-19
发明(设计)人: 尹朝蓉 申请(专利权)人: 成都锦沪新材料有限公司
主分类号: H01L21/225 分类号: H01L21/225
代理公司: 重庆中之信知识产权代理事务所(普通合伙) 50213 代理人: 王勇
地址: 610000 四川省成都市中国(四川)自由贸*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 功率 器件 硅片 扩散 用磷片 生产 装置
【权利要求书】:

1.一种高功率器件硅片扩散用磷片生产装置,包括炉体(1),炉体(1)的一端呈敞开式,炉体(1)上连通有出气管(8),其特征在于:所述炉体(1)内固定有靠近炉体(1)敞开处的固定壳(2),所述固定壳(2)上开设有一组排气口(21);所述炉体(1)远离固定壳(2)的一端设有储气壳(5),所述储气壳(5)上连通有贯穿炉体(1)的排气管(4),所述排气管(4)位于炉体(1)内的一端连通有可拆卸连接的连接壳(3),所述连接壳(3)靠近固定壳(2)的一面设有承载条(32),所述承载条(32)与连接壳(3)相连通,所述承载条(32)上开设有一组卡槽(33)和一组出气孔(34),一组所述卡槽(33)和一组出气孔(34)呈交错分布;所述储气壳(5)上还连通有贯穿炉体(1)与固定壳(2)相连通的连接管(6)。

2.根据权利要求1所述的一种高功率器件硅片扩散用磷片生产装置,其特征在于:所述固定壳(2)上还固定有位于排气口(21)下方且用于承载连接壳(3)的承载板(22)。

3.根据权利要求1所述的一种高功率器件硅片扩散用磷片生产装置,其特征在于:所述储气壳(5)上固定有电机(52),所述电机(52)的转轴上固定有位于储气壳(5)内的搅拌桨(53);所述储气壳(5)内固定有隔板(51),所述隔板(51)的顶部与储气壳(5)内腔的顶部具有间隙,所述储气壳(5)上连通有进气管(54),所述连接管(6)和排气管(4)均位于隔板(51)背离进气管(54)的一面。

4.根据权利要求1所述的一种高功率器件硅片扩散用磷片生产装置,其特征在于:所述炉体(1)背离储气壳(5)的一端设有通过液压杆驱动的密封盖(7);所述出气管(8)位于连接壳(3)和固定壳(2)之间。

5.根据权利要求1所述的一种高功率器件硅片扩散用磷片生产装置,其特征在于:所述连接壳(3)上设置的承载条(32)的数量为两个,两个所述承载条(32)呈对称分布,两个所述承载条(32)上的卡槽(33)和出气孔(34)分别位于两个承载条(32)的相对面;所述连接壳(3)上还插接有两个呈对称分布的限位杆(31),两个所述限位杆(31)位于两个承载条(32)之间。

6.根据权利要求1所述的一种高功率器件硅片扩散用磷片生产装置,其特征在于:所述固定壳(2)的数量为两个,两个所述固定壳(2)呈对称分布。

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