[实用新型]片盒组件及包含其的晶圆清洗单元

权利要求书

1.一种片盒组件，其包括片盒和至少两个晶圆，其特征在于，所述片盒内设有至少两个容置格，各所述晶圆分别平行放置于对应的所述容置格内，位于两端的所述容置格内的所述晶圆的正面朝向相邻的所述容置格。

2.如权利要求1所述的片盒组件，其特征在于，位于所述片盒中间位置处的所述容置格内的所述晶圆的正面均朝向同一方向。

3.如权利要求1所述的片盒组件，其特征在于，所述片盒内具有开口朝上的容置腔，各所述容置格分别设置于所述容置腔内。

4.一种晶圆清洗单元，其包括如权利要求1-3任意一项所述的片盒组件，其特征在于，所述晶圆清洗单元还包括晶圆移动设备，所述晶圆移动设备包括可以将晶圆的正面翻转180°的翻转模块。

5.如权利要求4所述的晶圆清洗单元，其特征在于，所述晶圆清洗单元还包括清洗槽，所述清洗槽用于对放入的晶圆进行清洗。

6.如权利要求4所述的晶圆清洗单元，其特征在于，所述晶圆清洗单元还包括用于承载所述片盒的升降平台，所述升降平台可通过升降运动的方式在清洗槽内和清洗槽的上方位置之间来回移动。