[实用新型]一种薄膜生产系统和真空蒸镀机构

权利要求书

1.一种薄膜生产系统，其特征在于，包括真空蒸镀机构、搬运机构以及水电镀机构，

所述真空蒸镀机构，用于对待蒸镀的薄膜进行蒸镀；所述搬运机构，用于将蒸镀后的薄膜搬运至所述水电镀机构；所述水电镀机构，用于对蒸镀后的薄膜进行水电镀；其中，所述真空蒸镀机构包括真空腔室(10)，以及竖直的设置在所述真空腔室(10)中的蒸镀装置。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜生产系统，其特征在于，所述真空蒸镀机构包括：

承载单元，包括：竖直地设置在所述真空腔室(10)的底部的第一承载架(11)和第二承载架(12)；

放卷单元，包括：对称安装于所述第一承载架(11)上的第一放卷部(21)和第二放卷部(22)；

收卷单元，包括：第一收卷部(31)和第二收卷部(32)，对称安装于所述第一承载架(11)上，且在竖直方向上的安装高度高于所述放卷单元；

第一转向单元，包括：第一转向辊(41)和第二转向辊(42)，对称安装于所述第二承载架(12)上；

第二转向单元，包括：第三转向辊(43)和第四转向辊(44)，对称安装于所述第二承载架(12)上，且在竖直方向上的安装高度高于所述第一转向单元；

第一蒸镀源单元，包括：第一蒸镀源(51)和第二蒸镀源(52)，对称安装于所述第二承载架(12)上；所述第一蒸镀源单元设置于所述放卷单元和所述第一转向单元之间；

第二蒸镀源单元，包括：第三蒸镀源(53)和第四蒸镀源(54)，对称安装于所述第二承载架(12)上，所述第二蒸镀源单元设置于所述收卷单元和所述第二转向单元之间，所述第二蒸镀源单元在竖直方向上的安装高度高于所述第一蒸镀源单元。

3.根据权利要求2所述的一种薄膜生产系统，其特征在于，所述第一放卷部(21)、所述第二放卷部(22)、所述第一转向辊(41)和所述第二转向辊(42)的中心轴线在同一水平面上，使得待蒸镀的第一卷薄膜和待蒸镀的第二卷薄膜分别在所述第一蒸镀源(51)和所述第二蒸镀源(52)的上方成水平走带；所述第一收卷部(31)、所述第二收卷部(32)、所述第三转向辊(43)和所述第四转向辊(44)的中心轴线在同一个水平面上，使得待蒸镀的第一卷薄膜和第二卷薄膜分别在所述第三蒸镀源(53)和所述第四蒸镀源(54)的上方成水平走带。

4.根据权利要求3所述的一种薄膜生产系统，其特征在于，所述蒸镀装置还包括挤压机构，所述挤压机构包括第一挤压辊(61)和第二挤压辊(62)，所述第一挤压辊(61)和所述第二挤压辊(62)对称地安装于所述第二承载架(12)上，且分别与所述第一转向辊(41)和所述第二转向辊(42)滚动接触。

5.根据权利要求4所述的一种薄膜生产系统，其特征在于，所述挤压机构还包括第三挤压辊(63)和第四挤压辊(64)，所述第三挤压辊(63)和所述第四挤压辊(64)对称地安装于所述第二承载架(12)上，且分别与所述第三转向辊(43)和第四转向辊(44)滚动接触。

6.根据权利要求5所述的一种薄膜生产系统，其特征在于，所述第一蒸镀源(51)与所述第三蒸镀源(53)在竖直方向上的间隔为60～100厘米，所述第二蒸镀源(52)与所述第四蒸镀源(54)在竖直方向上的间隔为60～100厘米。